XRD软件应用技巧 | AMASS材料数据库的扩展（二）

在AMASS软件中，可以通过菜单Sample - Edit Material Data打开并修改材料数据库，所打开的对话框中有5个不同的标签页，包含5类不同的材料信息，都可以自定义修改或添加。接上期《XRD软件应用技巧 | AMASS材料数据库的扩展（一）》

图11  Wavelength Data标签页

本标签页中的波长数据用于软件中其它波长相关设置中的波长快捷选择。如在模拟设置（Simulation Setup）中设置模拟什么波长下的相关曲线，可以在波长框右侧的仨点按钮点开波长选择对话框，从预设的波长列表中选择；对于反射率曲线的模拟，还可以选择第二波长，进行混波长的曲线模拟，见图12。

图12  Simulation Setup中的波长设置（左：高分辨；右：反射率）

图13  Element Data标签页

默认情况下，软件处理合金/固溶体半导体材料的晶格常数时，遵循维加德定律（Vegard’s Law）根据组分进行计算；但某些材料晶格常数的变化并不完全遵循维加德定律，那就可以在本标签页中设置晶格常数实际随组分变化的公式。

点击Add按钮，在所打开的Add Alloy对话框中选择要设置什么结构的哪个合金/固溶体半导体材料，点击OK按钮后，所选的材料会列在本标签页上半部分的列表中，公式的类型可在第三列Equation Type里选择Custom equation（晶格常数随组分变化的完整公式）或Deviation from Vegard’s Law（晶格常数随组分变化与维加德定律的偏离量），最后在底下的Equation框中输入公式即可。如对于In(As,Bi)固溶体半导体材料，假设有文献表明其晶格常数随组分变化偏离维加德定律，那可以选择公式类型为Deviation from Vegard''s Law并在Equation框中输入0.01 * sqrt(x * (1-x))，或者选择公式类型为Custom equation并在Equation框中输入x * a1 + (1-x) * a2 + 0.01 * sqrt(x * (1-x))，这两种设置方式是等效的。

图15  Vegard''s Law Deviation标签页中添加晶格常数变化公式

在对软件的材料数据库进行改动后，点击Edit Material Data主对话框的OK按钮后，软件会提醒是否要保存，点Yes确认保存后，要求指定保存路径（软件的默认数据库的路径为C:\\Users\\[用户名]\\Documents\\PANalytical\\AMASS\\standard.amatxl），可以覆盖原始文件，也可以重新命个名保存。

软件启动时，默认启用最近打开或保存的那个数据库文件，如果要改用另外的数据库文件，可以通过菜单Sample - Open Material Data打开并使用该数据库文件。

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1，XRD软件应用技巧 | AMASS材料数据库的扩展（一）

2，XRD软件应用技巧 /  XRD自动数据处理（四）APP与AMASS联用实现晶圆自动分析

3，XRD软件应用技巧 | XRD自动数据处理（一）：APP介绍及实例