珀金埃尔默亮相第二届“半导体材料与器件量测和检测技术培训班”

主讲人：朱敏

► 珀金埃尔默分析仪器应用技术负责人

报告系统介绍了ICP-MS技术在半导体金属基材料检测中的应用，重点剖析了分析面临的关键挑战，如基体效应、质谱干扰以及仪器长时间分析的稳定性等问题，为应对这些挑战，他介绍了相关解决思路和优化方法，如全基体气体稀释技术、等离子体条件选择，通用池去干扰参数以及利用先进三锥大孔径接口和四极杆离子偏转技术在基体耐受性和空间电荷效应的出色表现等，并重点介绍了前驱体的应用案例和实验数据。

最后他强调，技术创新与全过程质量控制是推动半导体材料向更高纯度、更高一致性发展的关键，珀金埃尔默将依托全面的专业服务能力和上海张江半导体洁净间，持续深耕分析技术前沿，为行业进步和广大客户提供坚实的技术支持。