【解决方案】精准定位，精准控温，低干扰，高精度，原位加热分析系统--国仪量子&中国科学技术大学微纳中心推出原位加热芯片解决方案

国仪量子联合中国科学技术大学微纳中心，自主研制原位加热芯片解决方案，通过MEMS加热芯片与双束电镜的深度融合，实现样品在室温至1100℃范围内的精准控温与微观动态分析，为高温环境下材料行为研究提供全新工具。

该方案采用国仪自研双束电镜与专用MEMS加热芯片，控温精度优于0.1℃，测温分辨率优于0.1℃，同时具备温度均匀性好、红外辐射少等优势，有效保障高温下的分析稳定性。系统支持在加热过程中同步开展微区形貌观测、EBSD晶体取向分析、EDS成分检测等多项表征，全面揭示材料在热场作用下的相变、应力演化与成分迁移规律。

该联用方案无需破真空，既可满足制样+表征(原位微区EBSD)的全流程使用需求。