纳克微束 FE-1050系列

仪器描述

发布时间：2022年11月

二次电子图象分辨率	1.5nm@1kV, 0.9nm@15kV	放大倍数	10x - 1,000,000x
电子光学	新一代电子光学镜筒	样品台	五轴电机驱动，X=140mm，Y=140mm，Z=60mm，R=360°，T=-10°~80°
探测器	In-Column SE 探测器、ET- SE 探测器、插入式 BSE 探测器（选配）、STEM 探测器（选配）、红外 CCD 主腔室监控-3 路	背散射电子图像分辨率	2.5nm@1kV, 1.5nm@15kV
加速电压	0.02 - 30kV	电子枪种类	Schottky场发射型

高温合金是一类可在600℃及以上的高温及一定应力作用的恶劣环境下长期工作的材料，其在诸如国防、能源、海事、航空以及其他需要稳定可靠材料的关键领域内起着无法取代的作用。高温合金优异的高温性能最重要的因素之一是与镍基体共格的Ni3Al型析出相（Gamma Prime Precipitates，γ´相），其含量、数量、尺寸大小、尺寸分布等因素直接对材料的性能造成影响。高分辨力SEM在纳米级的γ´相的表征重大的作用，对高温合金中γ´相的高清成像和统计分析可以帮助材料专家对材料进行材料性能的改进研究、工艺生产的问题发现。

FE-1050场发射扫描电子显微镜，国内首款领势旗舰机型。

在新一代电子光学镜筒的加持下，展现低电压、高分辨的卓越性能。
27个端口拓展、大舱室，轻松应对各类成像、分析需求。
极简化操作、自动化交互、智能化特征识别统计，成倍提高工作效率。
终身售后保障，7*24售后响应。

以“质”为先，以“优”为本，助力微观世界的探索与发现。

技术参数与优势

1）低电压下高分辨

2）多达 27 个附件端口数，是目前可扩展性最强的扫描电镜之一

3）大舱室，为适配第三方附件提供便利

4）智能防碰撞

5）一键自动送样

6）自动电子合轴

7）实时聚焦跟踪

高分辨力SEM在纳米级的γ´相的表征重大的作用，对高温合金中γ´相的高清成像和统计分析可以帮助材料专家对材料进行材料性能的改进研究、工艺生产的问题发现。纳克微束FE-1050系列高分辨场发射扫描电镜，助力您探索材料科学分析领域。

型号		FE-1050系列
1.电子光学系统
电子枪		Schottky 场发射型
物镜类型		非浸没电磁复合透镜
加速电压		0.02 - 30 kV
束斑电流		10pA 至 30nA（100nA 选配）
放大倍数		10x - 1,000,000x
分辨率	SE	1.5nm(1kV)、0.9nm(15kV)
	BSE(选配)	2.5nm(1kV)、1.5nm(15kV)
	STEM	0.8nm（30kV）
2.真空系统
离子泵（IGP）			25 L/s + 2×20L/s
涡轮分子泵（TMP）			250 L/s (N₂)
前级真空泵			15m³/h 机械泵、无油涡旋机械泵（选配）
电子枪真空			<1.0x10-7 Pa
主样品室极限真空			<1.0x10-4 Pa
样品室接口数			27 个
预抽室			50mm 样品托盘自动送样 4/6 英寸晶圆自动送样（选配）
			预抽室光学导航
3.样品运动平台
样品台行程	X	140mm
	Y	140mm
	Z	60mm
	R	连续 360°
	T	-10°~80°
重复定位精度		X/Y/Z≤1um（选配）
样品最大承重		5kg
4.图像处理系统
最小驻留时间			20ns/Pixel
采集方式			4 通道同步采集
最大图像分辨率			24k x 24k 像素
5.数据处理系统
CPU			Intel Xeon E5 及以上处理器
内存			32G
显卡			显存≥24G，位宽≥384bit
显示器			34 英寸超宽屏显示器
控制台			人体工程学可升降操控台
6.探测器系统
检测器（选配）		n斜插式能谱仪（EDS） n平插式能谱仪（Flat-EDS） n波谱仪（WDS） n电子背散射衍射仪（EBSD） n阴极荧光探测器（CL）
附件（选配）		n聚焦离子束（FIB） n原位拉伸加热台/制冷台 n冷冻转移样品仓等第三方附件设备