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发布时间:2023年10月
SEM5000X是一款超高分辨率场发射扫描电子显微镜,其分辨率达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物镜设计、高压隧道技术(SuperTunnel)以及镜筒工艺升级,实现了低电压分辨率的进一步提升。全新设计的样品仓,扩展接口增加至16个,快速换样仓最大支持8寸晶圆(最大直径208 mm),极大扩展应用范围。高级扫描模式和自动功能增强,带来了更强的性能和更好的体验。
产品特点
超高分辨率(0.6 nm@15 kV)
高压隧道技术
*双减速模式(Dul-Dec)
机械优中心样品台
*快速换样仓(最大8寸)
产品优势
01 超高分辨率成像,达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV
02 样品台减速和高压隧道技术组合的双减速技术,挑战极限样品拍摄场景
03 高精度机械优中心样品台、超稳定性的机架减震设计,可搭配整体罩壳设计,极大减弱环境对极限分辨率的影响
04 最大支持8寸晶圆(最大直径208 mm)的快速换样仓,满足半导体和科研应用需求
应用案例
介孔二氧化硅/1 kV(Dul-Dec)/lnlens
阳极氧化铝板 /10 kV/Inlens
芯片/5 kV/BSED-COMP
肾脏切片 /5 kV/BSED-COMP
泡沫镍/2 kV/ETD-SE
蓝宝石衬底/5 kV/ETD-SE
金颗粒/1 kV/Inlens
光刻胶/2 kV/ETD-SE
磁性粉末/10 kV/Inlens
二氧化硅球/3 kV/ETD-SE
催化剂/1 kV/ETD-SE
波导/1 kV/ETD-SE
产品参数
国产超高分辨场发射扫描电子显微镜 SEM5000X,SEM5000X
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10月26日,2023年全国电子显微学学术年会在东莞市召开。国仪量子在会议期间重磅发布自主研制的聚焦离子束电子束双束显微镜DB500、超高分辨场发射扫描电子显微镜SEM5000X,开启了国产高端电镜发展的全新时代。 发布会现场,国仪量子应用工程师详细介绍了两款全新电镜的研发历程与技术细节,并现场演示了双束电镜的测样过程,点燃了与会嘉宾对国产高端电镜的热情。 与用户共创!开启国产电镜全新时代 多年来,国仪量子的
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