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国仪量子技术（合肥）股份有限公司
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| 参考报价： | 面议 | 型号： | SEM5000X |
| 品牌： | 国仪量子 | 产地： | 安徽 |
| 关注度： | 195 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 | |
| 产品类型 | 落地式/传统大型 | 电子枪类型 | 热场发射 |
| 二次电子图象分辨率 | 0.6 nm @ 15 kV，SE 1.0 nm @ 1 kV，SE | 放大倍数 | 1 ~ 2,500,000 x |
| 样品台 | 五轴机械优中心样品台 | 探测器 | 插入式背散射电子探测器(BSED) 插入式扫描透射探测器（STEM） 能谱仪（EDS） 背散射衍射（EBSD） |
| 加速电压 | 20 V ~ 30 kV | 电子枪种类 | 肖特基场发射电子枪 |
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发布时间：2023年10月
SEM5000X是一款超高分辨率场发射扫描电子显微镜，其分辨率达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物镜设计、高压隧道技术（SuperTunnel）以及镜筒工艺升级，实现了低电压分辨率的进一步提升。全新设计的样品仓，扩展接口增加至16个，快速换样仓最大支持8寸晶圆（最大直径208 mm），极大扩展应用范围。高级扫描模式和自动功能增强，带来了更强的性能和更好的体验。
产品特点
超高分辨率
（0.6 nm@15 kV）
高压隧道技术
*双减速模式（Dul-Dec）
机械优中心样品台
*快速换样仓（最大8寸）
产品优势
01 超高分辨率成像，达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV
02 样品台减速和高压隧道技术组合的双减速技术，挑战极限样品拍摄场景
03 高精度机械优中心样品台、超稳定性的机架减震设计，可搭配整体罩壳设计，极大减弱环境对极限分辨率的影响
04 最大支持8寸晶圆(最大直径208 mm)的快速换样仓，满足半导体和科研应用需求
应用案例
介孔二氧化硅/1 kV（Dul-Dec）/lnlens
阳极氧化铝板 /10 kV/Inlens
芯片/5 kV/BSED-COMP
肾脏切片 /5 kV/BSED-COMP
泡沫镍/2 kV/ETD-SE
蓝宝石衬底/5 kV/ETD-SE
金颗粒/1 kV/Inlens
光刻胶/2 kV/ETD-SE
磁性粉末/10 kV/Inlens
二氧化硅球/3 kV/ETD-SE
催化剂/1 kV/ETD-SE
波导/1 kV/ETD-SE
产品参数
| 关键参数 | 分辨率 | 0.6 nm @ 15 kV，SE |
| 1.0 nm @ 1 kV，SE | ||
| 加速电压 | 20 V ~ 30 kV | |
| 放大倍率 | 1 ~ 2,500,000 x | |
| 电子枪类型 | 肖特基场发射电子枪 | |
| 样品室 | 真空系统 | 全自动控制 |
| 摄像头 | 双摄像头（光学导航+样品仓内监控） | |
| 样品台类型 | 五轴机械优中心样品台 | |
| 样品台行程 | X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm | |
| T: -10°~+70°，R: 360° | ||
| 探测器和扩展 | 标配 | 镜筒内电子探测器 |
| 旁侧二次电子探测器（ETD） | ||
| 选配 | 插入式背散射电子探测器(BSED) | |
| 插入式扫描透射探测器（STEM） | ||
| 能谱仪（EDS） | ||
| 背散射衍射（EBSD） | ||
| 样品交换仓（4寸和8寸可选） | ||
| 轨迹球&旋钮控制板 | ||
| 样品台减速 | ||
| 磁场噪音屏蔽系统（SEMI认证） | ||
| 软件 | 语言 | 中文 |
| 操作系统 | Windows | |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航 | |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
国产超高分辨场发射扫描电子显微镜 SEM5000X信息由国仪量子技术（合肥）股份有限公司为您提供，如您想了解更多关于国产超高分辨场发射扫描电子显微镜 SEM5000X报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
