fibTOF 将聚焦离子束二次离子质谱（FIB-SIMS）

fibTOF 将聚焦离子束二次离子质谱（FIB-SIMS）

灵敏 3D化学成像

通过将 FIB-SIMS 功能集成到 FIB-SEM 显微镜中，fibTOF 可提供纳米尺度的精确三维化学成像。

• 元素和同位素三维成像 对大多数元素具有高灵敏度，包括氢、锂、硼和氟等低质量元素。

• 可实现的空间分辨率 横向小于 50 纳米，深度小于 10 纳米。

• 明确的元素标识 质量分辨率高。

• 与主要显微镜品牌兼容 而不影响图像质量。

• 增强数据采集 由于铣削速度更快，因此测量时间更短，产量更高。.

• 集成控制软件 提供全面更新的用户体验。

三维化学成像

固体电解质界面（SEI）的三维 FIB-SIMS 成像，NMC622 锂离子电池中石墨负极的成分。为了更直观，垂直刻度被夸大了。视场为 30×30 微米。这些案例研究是在离子电流升高的情况下进行的，展示了 fibTOF 如何有效地处理升高的信号，并突出了这一测量技术的优势应用。

不折不扣地推进 FIB-SIMS

二次离子质谱法（SIMS）是一种成熟的技术，它利用高能离子束溅射样品，喷射出中性和带电粒子（二次离子）。fibTOF 是一种专用于 FIB-SEM 显微镜的飞行时间质谱仪，可测量溅射离子并提供有关样品的信息。结合 FIB 光束，SIMS 具有极高的横向分辨率和深度分辨率。

将 fibTOF 与 FIB-SEM 显微镜集成，可在保持高质量成像和 SEM/EDX 功能的同时进行 SIMS 测量。fibTOF 的飞行时间质量分析仪可捕获完整的质谱，以便在数据后处理过程中识别任何感兴趣的离子。

fibTOF 规格

fibTOF 与主要商用 FIB-SEM 显微镜集成，可保持高质量的成像性能。.

*取决于聚焦离子束的性能

用于纳米三维成像的数据采集与后处理软件

TOFexplorer 是一款集成控制软件，可利用 TOFWERK TofDaqRec 套件快速获取高分辨率三维 SIMS 成像。.

先进的界面可以

• 采集过程中的实时数据预览 - 质谱、SIMS 和 FIB 图像、深度剖面图

• 质谱峰识别支持 - 元素和分子离子

• 数据集后处理 - 进一步分析感兴趣区域，并以二维和三维格式导出

探索 TOFexplorer 界面

身份识别支持

TOFexplorer 软件具有识别测量离子的工具，提供各种过滤器来完善输出。这些过滤器允许用户指定分子式中必须包含的元素。

fibTOF 将聚焦离子束二次离子质谱（FIB-SIMS）信息由TOFWERK中国-南京拓服工坊为您提供，如您想了解更多关于fibTOF 将聚焦离子束二次离子质谱（FIB-SIMS）报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。