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   位置: 分析测试百科网 > 仪器谱 > 双束聚焦扫描电镜(FIB-SEM) > Helios 5 EXL DualBeam双束扫描电镜

Helios 5 EXL DualBeam双束扫描电镜(赛默飞)

是一款300mm全晶圆聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB-SEM),旨在解决半导体行业中的TEM样品制备挑战。Helios 5 EXL DualBeam能够为当今最先进的工艺节点制备样品,包括亚5nm和

  • Helios 5 EXL DualBeam双束扫描电镜
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