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[ 产品简介 ]
蔡司 Crossbeam 750 专为高质量失效分析与高精准TEM制样量身打造。三大核心技术:全新的Gemini 4电子光学系统、升级的“HDR”实时观察技术、全面革新的控制软件,可以为您带来更稳定、更准确、更高效的设备使用体验,是先进制程半导体领域的新选择。
[ 产品特点 ]
√超高分辨:全新的 Gemini 4电子光学系统
√实时成像:升级的“HDR”实时观察技术
√软件革新:全新 ZEN Core EM 软件
[ 应用领域 ]
√先进制程半导体
√前沿纳米材料
[ 应用案例 ]
▲ FIB制备5nm SRAM截面的直接形貌衬度(左)与元素衬度(右)同时成像(共焦点,样品台倾转54°)
3nm GAA,利用“HDR”实时观察技术准确制备包含ROI的TEM样品
离子束加工过程中的实时电子束图像(上);最终结果的TEM低倍图像(中);最终结果的TEM高倍图像(下)
▲ 全新ZEN Core EM 软件界面
▲ 电子半导体样品,基于自动化流程批量制备TEM样品
自动制备(左),自动转移(中),自动减薄(右)
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可以做哪些实验?
配套的耗材试剂?
使用注意事项?