纳克微束 FE-1050系列

仪器描述

发布时间：2022年11月

二次电子图象分辨率	1.5nm@1kV, 0.9nm@15kV	放大倍数	10x - 1,000,000x
电子光学	新一代电子光学镜筒	样品台	五轴电机驱动，X=140mm，Y=140mm，Z=60mm，R=360°，T=-10°~80°
探测器	In-Column SE 探测器、ET- SE 探测器、插入式 BSE 探测器（选配）、STEM 探测器（选配）、红外 CCD 主腔室监控-3 路	背散射电子图像分辨率	2.5nm@1kV, 1.5nm@15kV
加速电压	0.02 - 30kV	电子枪种类	Schottky场发射型

FE-1050场发射扫描电子显微镜，国内首款领势旗舰机型。

以“质”为先，以“优”为本，助力微观世界的探索与发现。

技术参数与优势

1）低电压下高分辨

2）多达 27 个附件端口数，是目前可扩展性最强的扫描电镜之一

3）大舱室，为适配第三方附件提供便利

4）智能防碰撞

5）一键自动送样

6）自动电子合轴

7）实时聚焦跟踪

型号		FE-1050系列
1.电子光学系统
电子枪		Schottky 场发射型
物镜类型		非浸没电磁复合透镜
加速电压		0.02 - 30 kV
束斑电流		10pA 至 30nA（100nA 选配）
放大倍数		10x - 1,000,000x
分辨率	SE	1.5nm(1kV)、0.9nm(15kV)
	BSE(选配)	2.5nm(1kV)、1.5nm(15kV)
	STEM	0.8nm（30kV）
2.真空系统
离子泵（IGP）			25 L/s + 2×20L/s
涡轮分子泵（TMP）			250 L/s (N₂)
前级真空泵			15m³/h 机械泵、无油涡旋机械泵（选配）
电子枪真空			<1.0x10-7 Pa
主样品室极限真空			<1.0x10-4 Pa
样品室接口数			27 个
预抽室			50mm 样品托盘自动送样 4/6 英寸晶圆自动送样（选配）
			预抽室光学导航
3.样品运动平台
样品台行程	X	140mm
	Y	140mm
	Z	60mm
	R	连续 360°
	T	-10°~80°
重复定位精度		X/Y/Z≤1um（选配）
样品最大承重		5kg
4.图像处理系统
最小驻留时间			20ns/Pixel
采集方式			4 通道同步采集
最大图像分辨率			24k x 24k 像素
5.数据处理系统
CPU			Intel Xeon E5 及以上处理器
内存			32G
显卡			显存≥24G，位宽≥384bit
显示器			34 英寸超宽屏显示器
控制台			人体工程学可升降操控台
6.探测器系统
检测器（选配）		n斜插式能谱仪（EDS） n平插式能谱仪（Flat-EDS） n波谱仪（WDS） n电子背散射衍射仪（EBSD） n阴极荧光探测器（CL）
附件（选配）		n聚焦离子束（FIB） n原位拉伸加热台/制冷台 n冷冻转移样品仓等第三方附件设备