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脉冲激光沉积系统180 Laser MBE/PLD (Neocera)

北京正通远恒科技有限公司

独立的MAPLE PLD系统; 有机和聚合物薄膜的沉积; 在同一室的附加沉积源(可选): 脉冲电子沉积(PED),射频/直流溅射和直流离子源; Load-lockable衬底阶段; 与XPS分析系统集成,直接将晶片从PLD系统转移到分析系统.

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Pioneer 180 Laser MBE/PLD System
Neocera
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