Pioneer 180 MAPLE PLD System激光脉冲沉积(PLD)Neocera

产品简介

基质辅助脉冲激光蒸发(MAPLE)是一种基于PLD的技术变体。

NRL集团引入了这项新技术，用于促进某些功能有机材料的薄膜沉积。

与传统的UV(5-6eV) PLD技术相比，MAPLE中的光化学反应可能会恶化有机分子和聚合物的功能。

在MAPLE中，通过将待沉积的有机物或聚合物与吸收激光波长的溶剂(基质)混合来制备特殊的靶。

除了光学吸收外，在沉积条件下的高蒸气压是基质的先决条件。

然后，液氮冷却液体目标物，使其冻结为固体。

激光辐射主要被目标的高挥发性、冷冻的溶剂(基质)分子吸收，这些分子随后从固体目标中脱离，捕获和带走感兴趣的有机分子。

在它们向基片传输的过程中，高挥发性的基质分子被抽走，将有机分子输送到基片上沉积薄膜，成功弥补了传统PLD的缺陷。

产品特点

独立的MAPLEPLD系统。

有机和聚合物薄膜的沉积。

在同一室的附加沉积源(可选)：脉冲电子沉积(PED)、射频/直流溅射和直流离子源。

负载锁定基底阶段。

与XPS分析系统集成，晶片就地从PLD系统转移到分析系统。

应用领域

脉冲激光沉积（Pulsed Laser Deposition）是一种用途广泛的薄膜沉积技术。

脉冲激光快速蒸发靶材，生成与靶材组成相同的薄膜。

PLD的独特之处是能量源（脉冲激光）位于真空室的外面，这样可以达到广泛的工作压力范围，从10-10Torr到100Torr。

通过控制镀膜压力和温度，可以合成一系列具有独特功能的纳米结构和纳米颗粒。

Neocera在PLD设备与工艺开发方面具有丰富经验，Pioneer系列PLD系统是全球研发领域最为广泛使用的商业化系统。

Neocera不仅提供最基本的PLD系统，也提供完整的PLD实验室交钥匙方案。

技术参数

1. PLD真空室尺寸：12"/18”直径(Pioneer120-Advanced/Pioneer180Models)

2. 衬底尺寸：最大直径2"和/或多种1厘米x1厘米的样品

3. 衬底加热：最高500℃，拥有可编程的加热器

4. 基底旋转：20RPM，软件控制

5. 目标阶段：液氮冷却；单目标阶段为标准；多个目标(可选)

6. 真空装夹：衬底负载制动

7. 工业废气：按要求处理气体，50-100SCCMmfc电池

8. 软件：Windows7/Labview2013。

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