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大尺寸脉冲激光沉积系统 Large-Area PLD Systems(Neocera)

北京正通远恒科技有限公司 400-6699-117 转 1000

特点•全自动大尺寸PLD系统•晶圆尺寸:4 "(100毫米),6 "(150毫米)和8 "(200毫米)直径•外延薄膜、多层异质结构和超晶格的沉积•高温下氧化膜沉积的氧相容性•自动激光扫描厚度均匀性Neocera

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Large-Area Pulsed Laser Deposition Systems
Neocera
美国
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