400-6699-117转1000
您好,欢迎您查看分析测试百科网,请问有什么帮助您的?
诚信认证:
工商注册信息已核实!参考报价: | 面议 | 型号: | Large-Area PLD Systems |
品牌: | Neocera | 产地: | 美国 |
关注度: | 23 | 信息完整度: | |
样本: | 典型用户: | 暂无 | |
供应商性质 | 一般经销商 | 产地类别 | 进口 |
400-6699-117转1000
产品简介
Neocera大尺寸PLD系统用于在各种衬底上沉积各种高质量的薄膜,晶圆(wafer)直径可达8 "(200毫米)。基片旋转结合激光扫描提供整个晶圆区域的厚度均匀性。激光束扫描附件采用了独特的Neocera设计,当激光束扫描时,可以在目标上产生固定的激光通量(J/cm2)。当激光束通过目标表面扫描时,激光束扫描使用独特的扫描程序。激光位置在目标上的停留时间遵循逆速度程序,促进了薄膜厚度的良好控制。用户可以完全控制扫描参数的必要改变,厚度轮廓取决于沉积压力。
产品特点
•全自动大尺寸PLD系统
•晶圆尺寸:4 "(100毫米),6 "(150毫米)和8 "(200毫米)直径
•外延薄膜、多层异质结构和超晶格的沉积
•高温下氧化膜沉积的氧相容性
•自动激光扫描厚度均匀性
技术参数
1.衬底尺寸:(直径)4 " (100mm),6 " (150mm)和8 " (200mn)
2.PLD腔室尺寸:18英寸直径球体或圆柱体。
3.衬底加热:850 ℃(4 "wafers)),750℃(6 "wafers),700℃(8" wafers)
4.目标旋转: 直径4 × 2"
5.厚度均匀性: ±5%或更好。
6.工业气体: O2, N2, Ar, (MFC控制)
7.Loadlocks: 包括
8.自动化: Windows 7, LabView 2013
大尺寸脉冲激光沉积系统 Large-Area PLD Systems信息由北京正通远恒科技有限公司为您提供,如您想了解更多关于大尺寸脉冲激光沉积系统 Large-Area PLD Systems报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途