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大尺寸脉冲激光沉积系统 Large-Area PLD Systems

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参考报价: 面议 型号: Large-Area Pulsed Laser Deposition Systems
品牌: Neocera 产地: 美国
关注度: 7 信息完整度:
样本: 暂无样本 典型用户: 暂无
产地属性美洲

特点

•全自动大尺寸PLD系统

•晶圆尺寸:4 "(100毫米),6 "(150毫米)和8 "(200毫米)直径

•外延薄膜、多层异质结构和超晶格的沉积

•高温下氧化膜沉积的氧相容性

•自动激光扫描厚度均匀性


Neocera大尺寸PLD系统用于在各种衬底上沉积各种高质量的薄膜,晶圆(wafer)直径可达8 "(200毫米)。基片旋转结合激光扫描提供整个晶圆区域的厚度均匀性。激光束扫描附件采用了独特的Neocera设计,当激光束扫描时,可以在目标上产生固定的激光通量(J/cm2)。当激光束通过目标表面扫描时,激光束扫描使用独特的扫描程序。激光位置在目标上的停留时间遵循逆速度程序,促进了薄膜厚度的良好控制。用户可以完全控制扫描参数的必要改变,厚度轮廓取决于沉积压力。


技术参数

1.衬底尺寸:(直径)4 " (100mm),6 " (150mm)和8 " (200mn)

2.PLD腔室尺寸:18英寸直径球体或圆柱体。

3.衬底加热:850 ℃(4 "wafers)),750℃(6 "wafers),700℃(8” wafers)

4.目标旋转: 直径4 × 2”

5.厚度均匀性: ±5%或更好。

6.工业气体: O2, N2, Ar, (MFC控制)

7.Loadlocks: 包括

8.自动化: Windows 7, LabView 2013



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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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