发布时间：2023年06月
红外快速退火炉 RTP-3-06产品特点
高质量部件：循环水路设计，带过滤部件，延长清洗炉体水路；红外灯管寿命高达5000小时，峰值波长约为1.25微米，炉体工艺镜面抛光。
高精度控温：模糊逻辑PID控温，控温精度可达±0.1℃。
快速控温：高能流密度红外灯设计，24秒内仪器可快速升温至1150℃；同时，炉体的热容小，配合先进的冷却系统，可实现快速降温。
异常报警保护：超温和流量异常时均会自动切断加热，保护炉膛，达到报警的效果。
洁净控温：非电阻炉加热，无绝热保温材料，更适合在洁净环境中使用。
可扩展性：带观察窗，可配CCD，采集光学信号；预留接口，可加载电学测量模块等。
红外快速退火炉应用功能
● 强诱导体薄膜的结晶化退火
● 注入离子后的扩散退火
● 半导体材料的烧成与退火条件研究
● 快速热退火、热氧化和热氮化
● 电极合金化
● 晶向化和坚化
● 石墨烯等气相沉积
● 碳纳米管等外延生长
● 单晶基板热处理
红外快速退火炉技术参数
型号 | RTP-3-06 |
温度范围 | RT~1150℃ |
温控精度 | ±0.1℃ |
最大升温速率 | 45℃/s (真空)，40℃/s (氮气) |
测试气氛 | 真空， N2 ，惰性气体 |
最大样品尺寸 | 20 x 20 x 2，单位mm（最大） |
处理材料类型 | 薄膜、粉体、块体、液体 |
温度传感器 | 标准K型热电偶 |
额定功率 | 4x(1KW-110V/根） |
温度程序模式 | 温度-时间设置，最高256步，32个程序，循环、保温等功能模糊PID逻辑控温，手动/自动开始，USB485连接 |
外观尺寸 | 420X320X220，单位mm |
重量 | 20.5kg |
红外快速退火炉 RTP-3-06, RTP-3-06
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