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发布时间:2023年06月
快速退火炉RTP-3-04,采用红外辐射加热技术,可实现大尺寸样品(4英寸)快速升温和降温,同时搭配超高精度温度控制系统,可达到极佳的温场均匀性,对材料的快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN)等研究工作起到重要作用。
快速退火炉应用案例
l 快速热处理,快速退火,快速热氧化,快速热氮化
l 离子注入/接触退火
l SiAu, SiAl, SiMo合金化
l 太阳能电池片键合
l 电阻烧结
l 低介电材料热处理
l 晶体化,致密化
l 其他热工艺需求
快速退火炉产品特点
l 可测大尺寸样品 可测单晶片样品的最大尺寸为4英寸(100mm)。
l 快速控温与高真空 最高升温速率可达100℃/s,真空度最高可达到10Pa。
l 程序设定与气路扩展 最多可创建和存储32个程序、8个PID设定,实现不同温度段的精确测试。最多可扩展至4条工艺气路(MFC),应用不同气氛环境(真空、氮气、氩气、氧气、氢氮混合气体等)。
l 全自动智能控制 采用全自动智能控制,包括温度、时间、气体流量、真空、气氛、冷却水等均可实现自动控制。
l 超高安全系数 采用炉门安全温度开启保护、温控器开启权限保护以及设备急停安全保护三重安全措施,全方位保障仪器使用安全。
快速退火炉技术参数
型号
RTP-3-04
最高温度
1200℃
最高升温速率
100℃/s
最快降温速度
200℃/min(1000℃-->400℃)
控温精度
≤0.1℃
温场均匀性
≤0.5%
腔体冷却
水冷方式,独立冷却源
衬底冷却
氮气吹扫
工艺气路
MFC控制,4路(可选氮气、氩气、氧气、氢氮混合气等)
主机尺寸
450×625×535,单位mm
快速退火炉RTP,RTP-3-04
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