400-6699-117转1000
咨询列表
武汉嘉仪通科技有限公司
您好，欢迎您查看分析测试百科网，请问有什么帮助您的？
| 参考报价： | 面议 | 型号： | RTP-3-04 |
| 品牌： | 嘉仪通 | 产地： | 湖北 |
| 关注度： | 52 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 |
400-6699-117转1000
发布时间：2023年06月
快速退火炉RTP-3-04，采用红外辐射加热技术，可实现大尺寸样品（4英寸）快速升温和降温，同时搭配超高精度温度控制系统，可达到极佳的温场均匀性，对材料的快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN)等研究工作起到重要作用。
快速退火炉应用案例
l 快速热处理，快速退火，快速热氧化，快速热氮化
l 离子注入/接触退火
l SiAu, SiAl, SiMo合金化
l 太阳能电池片键合
l 电阻烧结
l 低介电材料热处理
l 晶体化，致密化
l 其他热工艺需求
快速退火炉产品特点
l 可测大尺寸样品 可测单晶片样品的最大尺寸为4英寸（100mm）。
l 快速控温与高真空 最高升温速率可达100℃/s，真空度最高可达到10Pa。
l 程序设定与气路扩展 最多可创建和存储32个程序、8个PID设定，实现不同温度段的精确测试。最多可扩展至4条工艺气路（MFC），应用不同气氛环境（真空、氮气、氩气、氧气、氢氮混合气体等）。
l 全自动智能控制 采用全自动智能控制，包括温度、时间、气体流量、真空、气氛、冷却水等均可实现自动控制。
l 超高安全系数 采用炉门安全温度开启保护、温控器开启权限保护以及设备急停安全保护三重安全措施，全方位保障仪器使用安全。
快速退火炉技术参数
型号 | RTP-3-04 |
最高温度 | 1200℃ |
最高升温速率 | 100℃/s |
最快降温速度 | 200℃/min(1000℃-->400℃) |
控温精度 | ≤0.1℃ |
温场均匀性 | ≤0.5% |
腔体冷却 | 水冷方式，独立冷却源 |
衬底冷却 | 氮气吹扫 |
工艺气路 | MFC控制，4路(可选氮气、氩气、氧气、氢氮混合气等) |
主机尺寸 | 450×625×535，单位mm |
快速退火炉RTP信息由武汉嘉仪通科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于快速退火炉RTP报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
