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发布时间:2023年08月
TC-Wafer校准仪 快速退火炉温场均匀性校准,本仪器是一款应用于晶圆温场均匀性实时测量校准的仪器设备,并能生成报告。
产品特点:
支持最多20路实时测量晶圆温度;
温度均匀性实时曲线图和数值显示;
采集数据Excel表格导出,并生成报表;
晶圆温点分布直观显示并自动生成校准报告;
可快速更换TC-wafer及自定义功能;
大屏高分辨率显示;
数据最多采集10次/秒;
65瓦Type-C快速充电;
内置大容量电池,使用可达4小时;
10000条数据存储量;
支持多种传输方式,如U盘、蓝牙、无线网络;
便携一体化设计;
......
TC-Wafer校准仪 快速退火炉温场均匀性校准 产品应用:
RTP设备生产厂家
使用RTP设备客户
TC-wafer生产厂家
其他晶圆热处理设备
产品参数:
项目
TC-20参数
TC-10参数
续航
待机15小时、连续使用4小时
屏幕
13寸、分辨率:2880*1920
10寸、分辨率:1920*1280
数据采集速率
100ms ~ 450ms
使用范围
室温~ 900℃
单一点位温度偏差
±1.1℃/0.4%
晶圆尺寸
2吋 ~12吋
2吋 ~8吋
热电偶测温点数
1 ~ 20
1 ~ 10
TC-Wafer校准仪 快速退火炉温场均匀性校准,TC-20
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