电子束曝光 放大倍数

ELS-F125是Elionix推出的世界上首款加速电压高达125KV的电子束曝光系统,其可加工线宽下限为5nm的精细图形。(以下参数基于ELS-F125)ELS-F125具有以下优点:l  超高书写精度- 5 nm 线宽精度 @ 125 kV- 1.7 nm 电子束直径&邻近效应最小化 @ 125 kVl  ......

上海纳滕高精度电子束曝光系统 具有超高书写精度特点ELS-F125是Elionix推出的世界上首款加速电压高达125KV的电子束曝光系统,其可加工线宽下限为5nm的精细图形。(以下参数基于ELS-F125)ELS-F125具有以下优点:l  超高书写精度- 5 nm 线宽精度 @ 125 kV- 1.7 nm 电子束直径&邻近效应......

上海纳滕高精度电子束曝光系统 具有易于控制的电子束条件ELS-F125是Elionix推出的世界上首款加速电压高达125KV的电子束曝光系统,其可加工线宽下限为5nm的精细图形。(以下参数基于ELS-F125)ELS-F125具有以下优点:l  超高书写精度- 5 nm 线宽精度 @ 125 kV- 1.7 nm 电子束直径&邻近......

上海纳滕高精度电子束曝光系统 具有均匀性好特点ELS-F125是Elionix推出的世界上首款加速电压高达125KV的电子束曝光系统,其可加工线宽下限为5nm的精细图形。(以下参数基于ELS-F125)ELS-F125具有以下优点:l  超高书写精度- 5 nm 线宽精度 @ 125 kV- 1.7 nm 电子束直径&邻近效应最小......

上海纳滕高精度电子束曝光系统 具有高通量的特点ELS-F125是Elionix推出的世界上首款加速电压高达125KV的电子束曝光系统,其可加工线宽下限为5nm的精细图形。(以下参数基于ELS-F125)ELS-F125具有以下优点:l  超高书写精度- 5 nm 线宽精度 @ 125 kV- 1.7 nm 电子束直径&邻近效应最小......

产品规格:拼接精度≦±3.5 nm套刻精度≦±5 nmJBX-3200MV 电子束光刻系统JBX-3200MV是用于制作28nm~22/20nm节点的掩模版/中间掩模版(mask/reticle)的可变矩形电子束光刻系统。 zei先进的技术实现了高速、高精度和高可靠性。 是基于加速电压50 kV的可变矩形电子束和步进重复式的光刻系统。产品特点:利用步进重复式......

主要技术参数手动熔点测定支持手动沸点测定支持自动熔点测支持自动沸点测定支持均匀装样可选M-569自动装样器用于放置熔点毛细管的位置个数3用于放置沸点毛细管的位置个数1精密放大镜是放大镜倍数2.5 x数码摄像头是视频功能是放大显示6x显示屏彩色, TFT, 320x240, 3.5"测定温度范围环境温度10°C至400°C温度分辨率0.1°C准确度室......

(一). 多功能电子束光刻设备Pioneer Two: Pioneer Two是一款高性价比的成套的电子束光刻设备,采用30kV Gemini电子束技术,应用于2英寸以下晶圆的纳米级光刻、高分辨成像及低压电子束光刻。 20keV下在HSQ胶上曝光亚8nm线条(二). 多功能电子束光刻设备eLine Plus:  &nb......

Leica DM1000 非常符合人体工程学系统的显微镜 优势 1.独特的物理要求通过使用各种符合人体工程学的设备,可配置以满足个体独特的物理要求,如获得专利的高度可调的聚焦旋钮、具有可变倾斜角度的镜筒、符合人体工程学的模块和长度可调的方便左右手用户操作的同轴驱动装置。   2.高度可调的聚焦旋钮非常对称的物镜台操作和......

电子束曝光系统

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电子束刻蚀设备

型号:CABL-9000系列

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仪器简介:纳米光刻技术在微纳电子器件制作中起着关键作用,而电子束光刻在纳米光刻技                      &n......

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