新闻动态|西班牙 Sensofar 3D光学轮廓仪设备展出演示活动（南京-宁波）圆满结束

四月的风，裹挟着春末的暖意，也吹动我们奔赴远方的脚步。过去两周，星河视域（无锡）智能科技有限公司携手Sensofar先后走进宁波与南京，完成了一场又一场的设备展出测样演示活动。

仪器设备介绍

在现场测样环节，我们遇到很多老师同学们的样品深宽比较大，传统接触式三维形貌测量或AFM具有局限性，特此为大家分享一下Sensofar 3D光学轮廓仪在深宽比样品中的应用。

应用一：深孔测量

应用背景：深孔结构光路受限，导致光强衰减，反射光捕获困难。

• 使用 10x 长焦物镜

• 优势：克服了物镜在深孔底部返回信号弱的现象

深孔不同于沟槽。沟槽通常为长条形开口结构，其侧壁大多为V型或U型槽，深孔多为圆柱形或高深宽比的垂直孔洞，入射光相较于沟槽结构进一步减少，使测量难度上升。针对高深宽比微结构的三维形貌表征需求，需要使用NA值更低的长焦镜头。

这是20x长焦干涉镜头拍下的图像，深宽比24：1。

应用背景：激光加工表面粗糙，反光更差，槽宽更窄——需要更高水平分辨率。

• 20x 干涉物镜（NA=0.1）

• 优势：更小数值孔径提供高深宽比测量能力

• 配合白光干涉技术

在微纳尺度沟槽形貌表征过程中，为实现更高横向分辨率的测量要求，需优先选用较高倍率物镜，在其中选择数值孔径更小的长焦物镜。

应用分享