应用分享|Sensofar 3D光学轮廓仪在ePSI技术融合测量上的应用
2026-04-22 11:24:29, 星河视域 星河视域（无锡）智能科技有限公司
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仪器设备介绍
产品简介
S-neox在半导体、光学器件、材料、超精密加工、航空航天等领域被广泛应用。能够观测产品材料的表面形貌和轮廓尺寸；能够实现产品结构的2D尺寸、3D尺寸测量；能够实现图像的自动拼接；
该设备具有高分辨率、大景深观察，纵向分辨率达0.01nm；能够进行表面粗糙度、台阶高度等微结构测量；
设备同时拥有白光干涉、相位差干涉、共聚焦、多焦面叠加等几种不同的测量功能技术，在使用中可以一键切换几种不同的测量模式，针对不同表面结构和不同精度要求的产品都能完成测量分析。
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ePSI，全能精准测
打破精度量程困局
在半导体、精密光学等高端制造领域，表面测量常面临"精度"与"范围"的两难——白光干涉（CSI）能扫数百微米却难及纳米级精度，相移干涉（PSI）达亚纳米精度却量程受限。而Sensofar的ePSI技术，用创新融合破解了这一难题。
ePSI的核心
ePSI的核心，是让CSI与PSI"强强联手"：依托CSI实现数百微米的宽范围扫描，覆盖宏观轮廓到中观结构；借助PSI达成0.1nm的亚纳米级分辨率，精准捕捉微小划痕、薄膜厚度差异。两种技术优势互补，无需频繁换设备、调参数，一次测量就能兼顾全局与细节，大幅提升检测效率与数据可靠性。
场景全能
该技术已在多个关键领域实现落地应用。在半导体行业，它用于晶圆检测，通过全局扫描定位翘曲区域，进而精细测量纳米级电路高度差，有效提升产品良率；在精密光学领域，它应用于镜头校准，可一次性完成透镜曲率与纳米级表面光洁度的检测；在新材料测试中，它能实现对纳米薄膜厚度的无损测量，测量误差控制在0.2 nm以内。该技术具备多场景适用能力，显著降低了检测成本与周期。
从痛点破解到标准升级
从解决传统技术痛点，到为制造提效赋能，ePSI正成为高精度表面检测的"标配选择"。其高效可靠的测量能力，助力企业优化工艺、降低成本，推动产业质量标准再升级。
应用分享
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