群英荟萃 Park葳蕤: Park 出席半导体先进技术大会展示Park原子力显微镜在化合物半导体应用

群英荟萃 Park葳蕤: Park Systems 出席半导体先进技术大会展示Park原子力显微镜在化合物半导体应用

2024年5月22日，2024半导体先进技术创新发展和机遇大会于苏州召开，会议针对化合物半导体制造与封装等话题展开产业高端对话。作为原子力显微镜的创新者和引领者，Park原子力显微镜在化合物半导体方面的应用作出了突出贡献，Park Systems此次受邀与会并做主题报告。

AFM是半导体行业计量的主要工具，如：即时通讯的在线适用、机械性能测量、电性能测量等。AFM的革新是推动半导体先进技术创新发展的重要推力之一。在真空环境中提供非破坏性的测量解决方案，高分辨率的AFM功不可没。Park Systems以“创新 高能 卓越 ”为企业宗旨，在测量方面取得重大突破，其变革性的技术，持续推动纳米科学和技术的进步。

1985年，世界首台原子力显微镜在斯坦福大学问世。当时一位名叫朴尚一（Sang-il Park）的博士正在Prof. Calvin F. Quate的实验室中工作。他在这项开创性研究中扮演了重要角色，为原子力显微镜的发展奠定了基础。朴尚一博士在1986年创立了世界上第一家商用原子力显微镜公司(后被发展成为Park Systems Corp.)，此项发明在2016年获得了Nanoscience颁发的卡夫利奖（Kavli Prize)。

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卡夫利奖（Kavli Prize）是由挪威科学与文学院、挪威政府和Kavli基金会联合设立的国际性科学奖项，每两年颁发一次，分为三个类别：天体物理学、纳米科学和神经科学。卡夫利奖的设立旨在表彰那些对人类认知和进步做出杰出贡献的科学家们。

Park Systems CEO朴尚一博士和他的恩师卡夫利奖（Kavli Prize）获得者Prof. Calvin F. Quate的合照

在本次主题报告中，Park Systems应用总监潘涛介绍了AFM的发展史，重点阐述了Park 原子力显微镜的创新与突破，并展示了其核心产品在样品形貌观测等方面的前沿技术。

Park Systems作为原子力显微镜的先驱，成立至今一直致力于原子力显微镜技术的开发与应用，Park产品主要有以下特点：

1.非接触工作模式：全球唯一一家真实实现非接触式测量模式的原子力显微镜厂家，非接触模式使原子力针尖磨损大大降低，延长了探针寿命，提高了测量图像的重复性；

2.高端平板扫描器：所有产品型号均采用的高端平板扫描器，远远优于传统的管式扫描器

3. 智能扫描Smartscan：仪器操作极其简单，可实现自动扫描，对操作者无特殊要求，并且有中文操作界面；

4. 简单的换针方式：换针非常方便，采用磁拖直接吸上即可，不需调整激光光斑；

5. Park拥有全球最广泛的工作模式：可用于光学，电学，热学，力学，磁学，电化学等方面的研究与测试。

***Park Systems总监还在开幕式上介绍了2024年即将上新的全自动原子力显微镜FX200，大家敬请期待！***

关于Park Systems:

Park原子力显微镜公司（Park Systems）成立于1986年，是全球第一家推出商业原子力显微镜产品的上市公司。Park成立30多年来，始终致力于纳米领域形貌&力学测量和半导体先进制程工艺计量新技术新产品的开发。Park独有的技术是将XY和Z扫描器分离，实现探针与样品间的真正非接触，避免形貌扫描过程中因探针磨损带来的图像失真，快速成像的同时还可以大大提高测试效率，降低实验测试成本。

Park成立至今，致力于新产品和新技术的开发，为客户解决各种技术难题，提供最完善的解决方案。Park的原子力显微镜以高尖端的产品质量和快捷优质的售后服务受到广大客户的认可。为了给客户提供高效便捷的售后服务， 韩国帕克股份有限公司北京代表处建立有售后服务中心并配有备件仓库。

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