2024-05-11 12:13:21, Park原子力显微镜 Park帕克原子力显微镜
Park原子力显微镜
5月22-23日,由雅时国际商讯(ACT International)组织举办的“2024半导体先进技术创新发展和机遇大会(SAT Con 2024)”即将举行,本次会议将分别以“化合物半导体先进技术及应用大会”和“CHIP China晶芯研讨会”两种形式三场论坛进行。会议包括:化合物半导体材料与制备工艺、功率器件及应用技术,半导体制造与封装。展开泛半导体产业高端对话,促进参会者的交流信息与合作。
2024 年 5月22日
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开幕报告
Park Systems
Park Systems公司应用总监潘涛将在会议开幕式时段进行"原子力显微镜在化合物半导体的应用“报告。
随着中国在化合物半导体领域不断的发展和研究,尤其在化合物半导体的晶圆生长技术、器件制造与应用开发都取得了一系列突破。对于相关制备过程中的晶圆生长,衬底及外延等wafer亚纳米级微观形貌粗糙度及缺陷检测需求也愈加迫切。相比常规光学检测分辨率低,Park NX20工业型原子力显微镜(AFM)广泛应用在Ⅲ-Ⅴ族,Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体及SiC形貌粗糙度计量及缺陷检测等,本次演讲介绍在化合物半导体的相关应用。并将携2024年Park全自动化大样品AFM机台亮相本次展会,敬请期待!
会议日程查看:






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