响应设备更新政策 | 2024 纳米显微分析产品选型指南

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SEM 中 EDS 分析高空间分辨率和低能端性能。将 Extreme 电子电路、无窗设计与几何结构和传感器的优化设计相结合，灵敏度比传统大面积 SDD高 15 倍。

• 可对锂元素进行检测和成像；

• 加速电压小于 2 kV 时块状样品中的空间分辨率低于 10 nm；

• 与浸没式电镜相配合，可在高达 30 kV 的加速电压下收集高质量的元素信息。
  

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Ultim Max 系列能谱仪采用高端技术设计，将大面积晶体（最大可达 170 mm2）和 Extreme 电子电路结合起来，使该系列探测器拥有采集速度快、敏感性高和定量分析准确性高的特点。

Ultim Max 系列中所有型号探测器在 130,000 cps 计数率下能够同时保证轻元素（ C Ka、F Ka ）和重元素（ Mn Ka ）的能量分辨率达到技术指标。在发货前，工厂会在 SEM 上测试探头的性能。安装时会再次测试能量分辨率，确保客户在使用时（高计数率、低电压、原位测试等条件）下得到高质量的结果。

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Xplore 能谱探测器的推出完善了牛津仪器能谱产品系列，使得广大用户可以使用 AZtecLive 实时元素分布功能。

• 15 / 30 mm2  有效晶体面积式；
• 在用户电镜上保证 Mn Kα ≤ 129eV 分辨率（ @100,000cps ）；
• 最大计数率超过 1 Mcps；
  
• 全部零件现场可更换，保证更少的宕机时间。

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AZtecWave 结合了波谱仪解析X射线谱峰灵敏性、微量及痕量元素准确性以及能谱仪检测元素时的高速及高灵活性的优势。发挥波谱仪高X射线分辨率的特点，能够在更低的检测限下解析复杂的谱峰重叠。作为在高计数率下也可实现高准确定量分析的 EDS 探测器，Ultim Max 与 Wave 结合，是一款优秀的基于 SEM 下的元素显微分析系统。

• 具有罗兰圆几何和弯曲晶体的全聚焦波谱仪；

• 出色的能量分辨率，可完全解析高密度的X射线谱线；
  

• 较高的峰背比意味着检测限低于 100 ppm；
  

• 电动入射狭缝可优化分辨率和峰背比；

• 倾斜几何结构实现快速分析，可重复性高及样品定位更容易。

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Symmetry S3 是市场上真正的全能型 EBSD 探测器，它采用先进的CMOS 技术是一款革命性的 EBSD 探测器。为所有 EBSD 应用提供优越的品质、灵活易用以及一系列创新设计的功能。亮点包括：

• 确保标定速度超过 5700 pps ，同时花样分辨率达到 156 x 128 像素；

• 1244 x 1024 的像素分辨率——理想的高角度分辨 EBSD；
  

• 独特的光纤板光学设计，图像畸变控制在亚像素范围内；
  

• 优异的灵敏度，所有分析都将因此受益；

• 软件控制的探测器倾转。
  

高温原位 EBSD

高温原位 EDS

RISE 扫描电镜与共聚焦拉曼成像系统

Cryo lift - out

AZtecTEM