牛津仪器为英国重要的增强现实和先进消费类设备制造商提供用于MicroLED的ALD技术

对于具有高清显示的更小尺寸可穿戴设备的需求增加，推动了该行业研究的显著增长。MicroLED能够提供小于10微米的晶体尺寸，因此可以实现消费者可穿戴显示设备的微型化，同时仍保持高图像分辨率。如美国苹果公司最近新推出的Vision Pro中，就应用到大量的MircoLED技术。随着晶体尺寸的减小，周长与面积的比例相应增加，而在台地形成和隔离步骤中引入的损伤成为性能限制因素。在日本福冈举行的 2023 年国际氮化物半导体会议（ICNS）上，许多演讲都强调了等离子体 ALD 在抵消损伤方面的优势。专家表示，Plasma ALD还显著提高了外部量子效率，这是关键的材料性能指标，被专家描述为微型发光体关键的技术。

“我们非常高兴看到我们的低损伤等离子体原子层沉积（Plasma ALD）技术在我们的200毫米可行平台上获得市场推动。我们的等离子体原子层沉积高介电常数封装方案针对较小的芯片和更小的活动区域进行了优化，并且有些情况下我们的客户在ICNS上展示，外部量子效率翻倍。小型、高性能的MicroLED在虚拟现实头戴显示器和其他高级设备（如智能手表）中是关键组件，而我们的技术正在推动一些最令人向往和先进的消费者设备的实现与普及。”Klaas Wisniewski，牛津仪器等离子技术部战略业务发展总监这样评价道。

Plasma Pro ASP

作为化合物半导体加工设备和补充解决方案的市场领先供应商，牛津仪器等离子技术部将参加在上海举办的SEMICON China 2024 （2024年3月20日至3月22日）。我们的专家将分享我们最新的用于增强现实、虚拟现实、混合现实和量子的光电子工艺，以及用于人工智能和机器学习的数据传输应用。欢迎到现场与我们会面，讨论我们的蚀刻、沉积和离子束工艺解决方案能够如何帮助您的项目，并以更低的成本每天交付更多优质晶圆。现在点击阅读原文填写问卷预约展台面谈，现场更有惊喜好礼献上！