表面测量利器：椭圆偏振光谱仪 UVISEL PLUS

2023-11-08 14:31:32, HORIBA HORIBA科学仪器事业部

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产品名称：椭圆偏振光谱仪

产地：法国

型号：UVISEL PLUS

典型用户：NASA 戈达德太空飞行中心

仪器用途及应用范围：

UVISEL 是20 多年技术积累和发展的结晶，即使在透明的基底上也能对超薄膜进行最精确的测量。作为一款高准确性、高灵敏度、高稳定性的经典椭偏机型，它采用了PEM 相位调制技术，与机械旋转部件技术相比，能提供更好的稳定性和信噪比。

先进功能材料

薄膜厚度、光学常数表征
材料/ 表面改性研究
粗糙度、孔隙率表征
渐变层、界面层等分析
穿过率、反射率曲线测量

汽车

薄膜厚度、光学常数表征
表面粗糙度、孔隙率表征
渐变层、界面层分析
透射率、反射率测量
涂层及镀层分析

半导体材料

硅片上SiO2 薄膜厚度监控
光刻胶n，k（190-2100nm）
SiN，SiO2 等膜厚测试
第三代半导体外延薄膜厚度

能源/光伏

薄膜厚度、光学常数表征
工艺对镀膜的影响分析
渐变层、界面层等分析
膜层不均匀性成像分析
在线监测

产品特点：

50 KHz 高频PEM 相调制技术，测量光路中无运动部件

具备超薄膜所需的测量精度、超厚膜所需的高光谱分辨率

多个实用微光斑尺寸选项

可用于在线实时监测

自动平台样品扫描成像、变温台、电化学反应池、液体池、密封池等

配置灵活，测量范围可扩展至190 nm~2100 nm

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