展会预告 | 复享光学与您相约「2023中国（成都）国际精密光学技术及应用研讨会」

超构透镜光学检测系统

MetronLens™

一款面向超构表面、超构透镜等新型微纳器件的光学检测系统

✔  3D光场分布+相位分布+远场分布

✔  400 - 1700 nm宽波段色/像差矫正

✔  光场扫描≤ 1 μm(min)/≤ 3 μm(typ.)

✔  相位精度≤ 40 mrad

晶圆级衍射光波导

光学检测系统

Metrondie® SRG

一款面向衍射光波导晶圆的 “量”、“检”、“测”系统

✔  衍射效率检测 220-950 nm

✔  OCD(周期、形貌参数)

✔  自动化晶圆扫描

✔  高稳定性，高UPH