新品发布| EBSD 后处理 MapSweeper 花样匹配标定技术亮点抢先看

 EBSD 的标定

常规 EBSD 花样的标定，是先通过霍夫变换检测到衍射带的方向、位置、宽度、强度等信息，再进行标定的。要实现准确标定，前提是花样中的衍射带足够清晰能被准确探测到。而花样匹配标定技术是将实验采集的花样和通过动力学模拟的花样进行图像匹配，如果匹配上，那么实验花样的取向就是模拟花样的取向。整个标定过程无需检测衍射带，对衍射带清晰度没有要求，质量较低的花样也可以标定，大大拓展了EBSD 的应用范围。

图 1  EBSD 花样匹配标定实例。左图为实际采集的样品（ Cu ）花样，中图为多束动力学模拟花样，右图为实验花样与模拟花样之间匹配的差值。整个花样的匹配度R值为 0.8094 。

牛津仪器的 EBSD 后处理软件 AZtecCrystal 在最新的第三个版本中，新增了花样匹配标定技术 MapSweeper ，提高了标定的精度，也比传统高精度标定模式更加简单、灵活、快速，其主要特点有：

· 多束动力学花样模拟

· 提高数据的角度精度

· 提高标定率并修复误标

· 有效区分结构相似相

· 解决晶体的伪对称性问题，确定晶体的极性或手性

应用案例：氧化铁皮中的相区分

在氧化铁皮中，基体为铁素体（ Fe - BCC，立方），氧化层中含有 3 个相：FeO（立方）、Fe3O4（立方）和 Fe2O3（三方）。其中，3 个立方相结构相似，实际 EBSD 数据采集中，很难区分。更常见的做法是利用 EDS 采集成分来辅助 EBSD 标定，但是各铁氧化物的成分差异相对较小，EDS 分辨的难度较高。

利用 MapSweeper 的精修清扫，对数据重新分析，改进了 3 个立方相的区分，总的重新分析时间为 80 分钟。

图 2  利用 MapSweeper ，有效改善了铁氧化物相似相的区分

总之，牛津仪器今年的 EBSD 产品都有重大更新：硬件方面带来了 5700 花样每秒的全能型 Symmetry S3 ，以及 2000 花样每秒的高速型 C-Swift+ 和 600 花样每秒的高分辨型 C-Nano+ ；软件方面，EBSD 后处理软件 AZtecCrystal 也更新重要的花样匹配标定技术 MapSweeper 。

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