半导体超痕量分析新选择 | 安捷伦 PFA‑ST MicroFlow 微流量雾化器

2026-07-23 13:10:25, 安捷伦科技 安捷伦科技(中国)有限公司


在半导体材料分析、电子化学品检测以及超痕量元素测定过程中,样品纯度要求越来越高,实验室不仅关注检测灵敏度,更关注系统本底、样品污染风险以及仪器维护效率。

针对这些需求,安捷伦推出全新 PFA‑ST MicroFlow 微流量雾化器,为 ICP‑MS 用户提供更加灵活、高效的样品引入解决方案。


专为半导体应用而设计


PFA‑ST MicroFlow 采用高纯 PFA 材料制造,已被众多半导体客户广泛采用,可满足超低背景和超痕量分析要求。相比传统样品引入系统,其材料洁净度更高,有助于降低污染风险,保障检测结果的可靠性。


可拆卸毛细管,维护更轻松


传统微流量雾化器通常采用一体式结构,当毛细管堵塞时维护困难,往往需要更换整支雾化器。

PFA‑ST MicroFlow 的创新之处在于采用可拆卸毛细管设计。用户可根据流速需求更换不同规格毛细管,同时在发生堵塞时快速维护,大幅降低停机时间和使用成本。


灵活覆盖多种流速需求


产品提供 20、50、100、200 和 400 μL/min 等多种自吸流速选择,可根据不同样品类型和分析需求灵活配置。同时兼容 I‑AS 与 SPS 4 自动进样器探针,方便用户升级现有系统。


全新快速气体接头设计


PFA‑ST MicroFlow 配备快速连接气体接头及可更换气路组件,使安装与维护更加便捷,提高实验室运行效率。

不止半导体,更广泛的应用潜力

除半导体行业外,PFA‑ST MicroFlow 还适用于地球化学、核工业、先进材料及临床检测等领域。对于 HF 消解样品、超痕量分析以及易堵塞样品,其低污染、可维护的设计优势尤为突出。

安捷伦 PFA‑ST MicroFlow 微流量雾化器——让超痕量分析更洁净、更稳定、更易维护。


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