软件升级 | 减少人为失误、降低晶圆损耗，PTIQ 升级直接提升产能

（一）智能预判 Intelligent

PTIQ 不止是设备控制，更具备前瞻预判能力。

• 前置状态预警：可视化指标预判工艺就绪状态，在故障发生前提前规避各类生产问题

• 校准与诊断工具：配备专业故障排查、设备特征指纹识别、在线原位校准功能，保障设备持续处于最佳运行状态

• 深度数据采集：毫秒级精准采集、千点位日志记录，输出具备落地价值的数据结论，支撑工艺优化与工艺稳定复现

• 智能调度管理：全流程可编程，可自动执行多晶圆盒上下料时序自动化流程

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（二）稳定可靠 Reliable

高性能、高稳定，是PTIQ标配能力。

• 超低延迟响应：极速信号反馈，实现高精度设备控制与稳定运行

• 高采样频率采集：完整采集精细化工艺数据，支撑精准数据分析与科学生产决策

• 符合行业标准：界面兼容 SEMI E95 半导体通用规范，设备互通兼容性强，缩短操作人员培训周期

• 面向未来的拓展架构：弹性可扩展设计，可跟随产线工艺同步迭代升级，长期保障稳定运行

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（三）简易直观 Intuitive

强大设备管控功能，操作简单易用。

• 多用户权限档案：针对操作人员、工艺工程师、运维团队划分专属操作权限，操作安全零失误

• 极简可视化界面：核心数据一目了然，最少点击即可调取关键信息，最大化操作效率

• 支持触控操作：适配现代化洁净车间使用场景，可在黄光工艺区域正常使用

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