Micropoint 4：半导体行业高精度硅晶圆标记解决方案
2026-03-11 14:23:03, 牛津仪器 牛津仪器科技（上海）有限公司
牛津仪器 Andor 产品 MicroPoint 4 是一款广受欢迎、基于激光扫描的高精度光刺激设备，主要应用于光刺激领域。该设备广泛应用于生命科学与医学领域。对于全球广大用户来说，MicroPoint 都是一个可靠的选择。该产品适合那些需要精准照明或光学操作的应用，在本文中我们将介绍 MicroPoint 4 在半导体领域的应用。
作为一个高精度的光学工具，Micropoint 4 可用于半导体行业的工业标记，并适配大多数正置或倒置光学显微镜——非常适合在硅晶圆上标记错误、瑕疵或为扫描电子显微镜（SEM）生成配准点，满足半导体行业对于硅晶圆严苛和高标准的质控管理需求。
搭配光学显微镜，MicroPoint 4 可以在硅晶圆上用激光在指定位置精准地绘制线条、多边形、自定义多边形（视频1）、实心多边形或自定义多边形填充（视频2）。此外，MicroPoint 4 的控制软件 Andor iQ，允许用户通过 Python 命令行实现自动化控制，在硅晶圆上绘制字母等个性化图案（视频3）。
点击播放视频1：使用 MicroPoint 4 在硅晶圆上绘制线条或自定义多边形
点击播放视频2：使用 MicroPoint 4 在硅晶圆上绘制实心多边形或自定义多边形
点击播放视频3：使用 MicroPoint 4 在硅晶圆上绘制字母
MicroPoint 4 设备的核心部件是一个新型智能微控制器，用于支持连续的和脉冲的激光。 享有专利的脉冲调制氮泵浦染料激光器有24个激光染料腔（支持365nm-656nm），因此很容易更改激光波长，以满足不同的应用需求；用户也可以选择脉冲调制的皮秒激光器，它可以在1 ns脉冲中提供卓越的精度；用户甚至可以添加一个连续波激光源，比如牛津仪器 Andor 的 ILE 和 HLE 激光引擎。 此外，用户还可以将它轻松地集成至常见的正置或倒置光学显微镜，并且可以在手动型号或PC电脑控制的 Galvo 自动型号之间进行选择。通过我们的用户友好的控制软件 Andor iQ 操作，允许您复制您最喜欢的成像软件的屏幕，确保无缝和舒适的用户体验。
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