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Hybrid SIMS
SIMS能够从无机和有机样品上的亚微米区域获取化学成分信息。从事生命科学应用研究的人员对于这种功能尤其感兴趣。近年来，在亚细胞水平上成像和准确识别分子的愿景一直在推动仪器及其应用的发展。
虽然新的离子源扩展了SIMS仪器在生物学方面的应用，但深入研究这类材料需要SIMS分析仪器具有更高质量分辨率、更高质量准确度和MS / MS联用功能。为此，IONTOF结合现有的TOF-SIMS与Q ExactiveTM，推出了具有最高质量分辨率（> 240,000）、最高质量精度（<1 ppm）和高分辨率的团簇源SIMS成像的Hybrid SIMS。新一代的Hybrid SIMS 仪器型号为 M6 Hybrid SIMS。
Hybrid SIMS将TOF分析仪的快速成像功能与Q ExactiveTM独特的超精准的鉴定性能相结合，为有机样品的分析和检测提供了更高水平的SIMS信息。该新扩展升级还提供高端MS / MS联用功能对分子信息进行进一步确认。为高分辨率的分子信息SIMS应用树立了一个新高度。
Hybrid SIMS仪器
1.使用ToF和OrbitrapTM双分析器配置
2.超过静态SIMS极限的气体团簇高分辨成像和质谱测定
3.脉冲操作模式和直流操作模式
Thermo ScientificTM
Q ExactiveTM HF
1.质量分辨率240,000 @ m / z 200
2.扫描频率高达18 Hz
3.质量精度<1 ppm
4.具有精确的预选择、最佳质量分辨率的碎片全谱和质量准确度的MS / MS
IONTOF / 超高分辨TOFSIMS / TOF-SIMS M6 Hybrid SIMS,TOF-SIMS M6 Hybrid SIMS
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M6 是 IONTOF 在 TOFSIMS 5 基础上开发的新一代高端飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）仪器，对一次离子源（LMIG）和质量分析器（TOF Analyser）进行了突破性的改进。 此外，在硬件方面还增加了 MS/MS 功能选项，重新设计了加热和冷却系统；在软件方面新增了多元统计分析（MVSA）软件包。其设计保证了 SIMS 应用在所有领域的卓越性能。 新的突破性离子束和
电池中锂被钝化层覆盖，此钝化层可能会影响电池性能以及电化学特性的重现性。Svenja-K. Otto等人利用XPS、ToFSIMS、EDX等分析手段对各种锂电池样品的钝化层进行研究，并得出表面钝化层的三维化学成像。这里将
TOF-SIMS在半导体领域有着广泛的应用，如表面痕量金属的检测和定量、工艺过程的有机污染、超浅层深度剖析、超薄介电层分析、界面/bond pad/test pad的分析等等。 TOF-SIMS技术的性能优势主要体现在高质量分辨率、高质量精度和良好的数据速率等方面。另外，低能量、小束斑、高电流的新型双束离子溅射源可以实现溅射快、精度高的深度分析，深度分辨＜1nm。且TOF-SIMS技术无需复杂的样品前处理，可以对样品进行直接测试。 本文
TOF-SIMS在半导体器件分析方面的研究进展（一）TOF-SIMS在半导体领域有着广泛的应用，如表面痕量金属的检测和定量、工艺过程的有机污染、超浅层深度剖析、超薄介电层分析、界面/bond pad/test pad的分析等等。 TOF-SIMS技术的性能优势主要体现在高质量分辨率、高质量精度和良好的数据速率等方面，能够以同位素灵敏度检测所有组分包括元素和分子，且TOF-SIMS技术无需复杂的样品前处理，可以对样品进行直接测试。 本文主
在很多的基础科学研究和工业研究过程中，为了进一步详细地了解研发出来的产品、发生异常的原因、优劣的差异所在、样品本身内在的机理等等，我们就必须要清楚样品表面/浅层/界面的结构和成分构成，就会出现各种各样的表面分析需求。表面分析方法的种类和对应的作用如下图所示非常复杂，如果不是很了解表面分析，我们可能会对自己要测的目标样品无从下手。EDX(EDS)、AES、XPS(ESCA)、TOF-SIMS是代表性的几种表面分析方法，都具备一定的定性和定量能力，在实际的应用
经典案例：多晶金属氧化物中的扩散过程TOF-SIMS的一个主要优势是可以将高横向分辨率和高深度分辨率相结合。在双束深度剖析中，可以分别独立优化分析束和溅射束并测量化学成分的三维分布。例图所示为La0.8Sr0.2Ga0.8Mg0.2O2.8多晶金属氧化物中扩散过程的三维分析图像，可见Cr，Fe和Y在整个样品中的扩散是不均匀的。后期分析数据的重建允许在三维图像内分隔出不同的区域进行独立的分析。因此，通过后期对快速扩散区域和慢速扩散区域的分析数据进行重建，可以
经典案例：Duchenne 型肌营养不良症的脂质分子离子质谱图TOF.SIMS 5可对每种分子化合物进行独立成像以获得其详细空间分布信息的功能被用来研究患有肌营养不良蛋白缺陷症的实验鼠体内肌肉的退化/再生过程。使用TOF.SIMS 5直接分析未处理的小鼠腿部切片，可以得到各种物质（脂肪酸，维生素E，甘油三酯，磷脂酸，辅酶Q9和氯）的特定分布情况的图像。样品制备：对于提取细胞或组织的薄切片，显然处理越少就容易保留细胞的原始化学性质。对于许多成像技术
4月11日，香港科技大学（广州）材料表征与制备中央实验室 (MCPF) 成功举办了一场关于最新表面分析技术的学术沙龙。本次研讨会的主题为 “Hybrid SIMS: 具有高质量分辨能力的二次离子质谱成像技术 "（Hybrid SIMS: Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS) Imaging with High Mass Resolving Power）。IONTOF资深工程师Sven讲解Hybrid SIM
案例一、痕量金属检测 痕量金属的检测和定量是半导体工业中的一个重要分析任务。 TOF-SIMS能够以同位素灵敏度检测所有元素（即使是轻质元素）。 高质量分辨率，高质量精度和良好的信噪比可使灵敏度达到1E7至1E9 atoms/cm2。 该技术可应用于带图案的硅片，甚至硅片的背面，也不会降低灵敏度。 该技术通过使用外部标
案例一、氟化聚醚的表面质谱高分子材料行业的许多技术领域需要理解和处理表面的分子结构。静态SIMS是获取分子结构信息的理想分析技术，因为它能够以极高的灵敏度检测复杂的大型分子离子和碎片离子，从而提供详细的结构信息。TOF.SIMS 5质量分析器的出色传输率，大质量范围和新型离子源使TOF.SIMS 5成为分析有机材料（如聚合物，生物材料和药物）的理想工具。 高质量润滑剂（氟化聚醚）的质谱，显示了在高质量范围内的低聚物分布。 &
北京中科院化学所
IONTOF / TOFSIMS 飞行时间二次离子质谱 / TOF-SIMS M6型
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