全新极低电压，极致成像系统
形貌与成分，高效全能分析
一键成像，轻松高效
突破性的分辨能力
支持超高分辨低压性能
优化镜筒设计，色差降低12%，球差降低20%，综合像差锐减30%，显著提升了呈现样品微观细节的能力，为客户还原高保真的真实微观形貌，确保精密表征与尺寸量测的准确性。
兼具高分辨/大束流
可适用多类样品检测
采用双聚光镜架构，实现电子束独立精准调控。完美兼顾纳米级高分辨成像与大束流高效分析，全面提升多维表征能力。
超高分辨大束流分析
大束流结合高分辨率的扫描电镜，可在兼顾精细形貌观测与高效信号激发的前提下，广泛应用于半导体芯片微观缺陷检测、微电子器件表征、纳米材料形貌与成分同步分析、镀层 / 薄膜界面观测、生物大样本高倍成像，同时适配电子束曝光、微区元素快速面分布扫描、失效分析等场景，既能看清纳米级细微结构，又凭借大束流提升成像速度、增强二次电子与特征 X 射线信号强度，满足高精度、高效率的综合检测需求。
*金标样/10 kV/15 nA/大束流高分辨
一键成像，轻松高效
外置光学导航加一键成像功能，从放样到出图仅需一键，立得清晰图像，效率倍增，简单易用，人人皆可获取高质量数据。
应用案例
电子半导体
在半导体行业内，制程工艺会伴随各种微观缺陷，为了保障芯片的高良率，会引入专业的微观表征设备进行检测，其中利用扫描电镜进行高分辨形貌分析是不可或缺的排查手段。
SEM5000Ultra/14 nm芯片/0.7 kV/Inlens
SEM5000Ultra/DRAM/15 kV/Inlens
SEM5000UItra/7 nm FinFET平面/30 kV/BSED
SEM5000Ultra/5 nm FinFET 截面/30 kV/STEM-BF
生命科学
在生命科学研究中，组织超薄切片STEM成像，成为生物超微结构观察、标记定位、三维断层成像、硬组织与病理分析的关键手段。
SEM5000Ultra/线粒体双层膜/30 kV/STEM-BF（来源：西湖大学）
SEM5000Ultra/髓鞘/30 kV/STEM-BF（来源：西湖大学）
功能材料与新材料
在功能与新材料的研发中，微观形貌与特殊结构直接决定其最终性能。扫描电镜作为专业表征工具，可以很好的对新材料的微观形貌表征。
SEM5000Ultra/干法隔膜/0.02 kV/Inlens
SEM5000Ultra/氧化铝/0.1 kV/Inlens
金属材料
在金属材料研发与制造中，零部件常遭遇疲劳或腐蚀失效，为了探究其根本原因，需要借助专业的显微结构表征设备进行检测，其中扫描电镜是极为重要的设备之一。
SEM5000Ultra/镍合金/20 kV/EDS
SEM5000Ultra/泡沫镍/20 kV/EDS
高分子材料
在高分子材料研发与改性中，微观形貌与断口结构直接决定性能，为了探究其内在机理，利用扫描电镜进行低电压形貌观察是非常重要的表征方法。
SEM5000Ultra/Au-In₂ O₃/0.1 kV/Inlens
SEM5000Ultra/ZIF 67/1 kV/ETD
