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国仪量子SEM5000E超高分辨场发射扫描电子显微镜
参考价：￥400万-500万
历史价格
历史价格
品牌与制造商：国仪量子 产地：安徽 型号：SEM5000E 官方样本下载：来电或留言获取样本
数据更新时间：2026-02-13
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产品官方概述
国仪量子SEM5000E是一款超高分辨率场发射扫描电子显微镜，其电子光学镜筒经优化设计，综合像差降低30%，实现了0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV的突破性分辨率。仪器具备高稳定性，采用高压隧道技术与机械优中心样品台，有效减弱环境干扰。它支持最大4寸晶圆的快速换样仓，并拥有丰富的探测器扩展能力，适用于纳米材料、高端芯片半导体等前沿领域的精密分析与研发。
以下内容综合自国仪量子官方技术规格及公开资料信息
官方技术参数
| 产地与供应商：国产 生产商 | 电子枪类型：热场发射 | 价格范围：400万-500万 |
| 产品类型：落地式/传统大型 | 二次电子图象分辨率：0.6 nm @ 15 kV，SE 1.0 nm @ 1 kV，SE | 放大倍数：1 ~ 2,500,000 x |
| 电子光学：光学导航 | 样品台：X≥150 mm，Y≥150 mm，Z≥65 mm；T: -10°~+90°，R: 360° | 探测器：二次电子探测器 (ETD)，背散射电子探测器、能谱仪EDS等 |
| 加速电压：20 V ~ 35 kV | 电子枪种类：肖特基场发射电子枪 |
产品介绍
SEM5000E是一款超高分辨率场发射扫描电镜，电子光学镜筒设计优化，综合像差降低了 30%，从而达到了0.6 nm@15 kv和 1.0 nm@1 kv的超高分辨率。超高分辨率和高稳定性，可在先进纳米结构和纳米材料的研究、高端芯片半导体的研发制造等领域发挥其性能优势。
特点
突破性的分辨能力
机械中心样品台
镜筒内加/减速模式
快速换样仓（最大4寸）
高稳定性
丰富的扩展能力
产品优势
超高分辨率成像，达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV
高压隧道技术，挑战极限样品拍摄场景
高精度机械优中心样品台，可搭配整体罩壳设计，极大减弱环境对极限分辨率的影响
最大支持4寸晶圆的快速换样仓，满足半导体和科研应用需求
应用案例
介孔二氧化硅/1 kV（Duo-Dec）/lnlens
阳极氧化铝板 /10 kV/Inlens
芯片/5 kV/BSED-COMP
肾脏切片 /5 kV/BSED-COMP
泡沫镍/2 kV/ETD-SE
蓝宝石衬底/5 kV/ETD-SE
金颗粒/1 kV/Inlens
光刻胶/2 kV/ETD-SE
磁性粉末/10 kV/Inlens
二氧化硅球/3 kV/ETD-SE
催化剂/1 kV/ETD-SE
波导/1 kV/ETD-SE
产品参数
| 关键参数 | 分辨率 | 0.6 nm @ 15 kV，SE |
| 1.0 nm @ 1 kV，SE | ||
| 加速电压 | 20 V ~ 35 kV | |
| 放大倍率 | 1 ~ 2,500,000 x | |
| 电子枪类型 | 肖特基场发射电子枪 | |
| 样品室 | 摄像头 | 双摄像头（光学导航+样品仓内监控） |
| 样品台行程 | X≥150 mm，Y≥150 mm，Z≥65 mm | |
T: -10°~+90°，R: 360° | ||
| 探测器和扩展 | 标配 | 镜筒内电子探测器（Inlens） |
| 仓室内电子探测器（ETD） | ||
| 选配 | 插入式背散射电子探测器（BSED） （五分割，可选配） | |
| 插入式扫描透射探测器（STEM） | ||
| 能谱仪（EDS） | ||
| 背散射衍射（EBSD） | ||
| 样品交换仓（4寸） | ||
| 轨迹球&旋钮板 | ||
| 软件 | 语言 | 中文 |
| 操作系统 | Windows | |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航，轨迹球（选配） | |
| 图像记录 | TIFF、JPG、PNG、BMP等 | |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
国仪量子SEM5000E超高分辨场发射扫描电子显微镜信息由国仪量子技术（合肥）股份有限公司为您提供，如您想了解更多关于国仪量子SEM5000E超高分辨场发射扫描电子显微镜报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
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