日立中型扫描电镜SU3800

简介
该设备支持超大/超重样品测试，能分别搭载最大直径300mm、重量5kg的样品，拥有大视野观察功能，并具备自动化功能以提高操作性能。通过自动光路调整和各种自动化功能，样品设置完后立即可以开始观察。此外，还安装有“Intelligent Filament Technology”软件，自动监控钨灯丝的状况，确保长时间测试过程中的连续性。
1) 支持超大/超重样品测试

　　可搭载的最 大样品尺寸：“SU3800” 标配可搭载直径200mm样品的样品仓，可应对最 大高度为80mm、重量为2kg的样品。  “SU3900”作为日立高新技术的大型扫描电镜，标配可搭载最大直径300mm样品的样品仓，可应对最 大高度为130mm、重量为5kg(比前代机型提高2.5倍*2)的样品

　　(2) 支持大视野观察

　　■“SU3800”与“SU3900”的最 大观察范围分别是：直径130mm、直径200mm

　　■安装有“SEM MAP”导航功能，只需在导航画面上指定观察目标位置，即可移动视野

　　■安装有“Multi Zigzag”系统，可在不同的视野自动拍摄多张高倍率图像，并将取得的图像拼接在一起，生成大视野高像素图像

　　(3) 通过自动化功能提高操作性能

　　■通过自动光路调整和各种自动化功能，样品设置完后立即可以开始观察。关于图像调整，自动功能执行时的等待时间比前代机型*4缩短了三分之一以下

　　■安装有“Intelligent Filament  Technology(IFT)”软件，自动监控钨灯丝*5的状况，显示预计的更换时期。在长时间的连续观察和颗粒度解析等大视野分析时，也可避免长时间测试过程中因钨灯丝使用寿命到期所造成的中断观察。

 

核心参数

电子枪种类：
钨灯丝

二次电子图象分辨率：
3.0nm

放大倍数：
低：5-300，000x 高：7-800，000x

加速电压：
0.3-30KV(标准模式）

背散射电子图像分辨率：
4.0nm@30KV(低真空模式）

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