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SEM5000是一款分辨率高、功能丰富的场发射扫描电子显微镜。先进的镜筒设计,高压隧道技术(SuperTunnel)、低像差无漏磁物镜设计,实现了低电压高分辨率成像,同时磁性样品可适用。光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机交互,优化的操作和使用流程,无论经验是否丰富,都可以快速上手,完成高分辨率拍摄任务。
电子枪类型高亮度肖特基场发射电子枪分辨率1.0 nm @ 15 kV1.5 nm @ 1 kV放大倍率1 ~ 2,500,000 x加速电压20 V ~ 30 kV样品台五轴全自动样品台
高亮度肖特基场发射电子枪
1.0 nm @ 15 kV1.5 nm @ 1 kV
1 ~ 2,500,000 x
20 V ~ 30 kV
五轴全自动样品台
产品特点01分辨率高,低加速电压下实现高分辨成像02电磁复合物镜,减小像差,显著提高低电压下的分辨率,而且可观察磁性样品03高压隧道技术(SuperTunnel) ,在隧道中的电子能保持高能量,减少了空间电荷效应,低电压分辨率得到保证04电子光路无交叉,有效的降低系统像差,提升分辨能力05水冷恒温物镜,保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性06磁偏转六孔可调光阑,自动切换光阑孔,无需机械调节,实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换
分辨率高,低加速电压下实现高分辨成像
电磁复合物镜,减小像差,显著提高低电压下的分辨率,而且可观察磁性样品
高压隧道技术(SuperTunnel) ,在隧道中的电子能保持高能量,减少了空间电荷效应,低电压分辨率得到保证
电子光路无交叉,有效的降低系统像差,提升分辨能力
水冷恒温物镜,保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性
磁偏转六孔可调光阑,自动切换光阑孔,无需机械调节,实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换
应用领域
国仪量子 场发射扫描电镜 SEM5000,SEM5000
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