飞纳台式扫描电镜 | 工业 4.0 自动化与高通量质控解决方案

概述：为质控与研发打造的自动化台式扫描电镜

Phenom XL G3 是 Thermo Scientific 旗下的旗舰级台式扫描电镜平台，基于飞利浦—FEI—赛默飞近 80 年电镜技术积淀打造。其稳定可靠、易部署、自动化程度高，专为 生产质控、高通量检测与研发场景 而设计。

• 大仓室设计，可容纳 36 个样品

• 1 分钟完成装样到出图

• 自动化、AI 分析、能谱一体化

• 3000h CeB6 灯丝，平均 5 年更换一次

适用于金属、电子陶瓷、半导体、粉末、滤膜、电池材料等多行业。

核心优势

01｜80 年电镜技术传承，全/球超 5000 台装机

从飞利浦电镜部门到 FEI，再到 Thermo Scientific，Phenom 系列代表了世界领先的电镜设计与制造标准。

• 1939 年：Le Poole 提出电镜构想

• 1944 年：150kV 电子显微镜问世

• 1972 年：第一台飞利浦 SEM

• 2006 年：全球首台台式 SEM —— Phenom 诞生

• 至今：形成台式 CeB6 / 台式场发射 / 行业专用电镜多线产品矩阵

02｜无需改造实验室：随放随用，省心省钱

• 内置专利减震系统

• 对环境要求低，不用暗室、不用水冷

• 适用于生产车间、QC 实验室、高楼层办公区

• 甚至支持车载、野外现场使用

曾参与冰岛火山口、西班牙无人岛等地质科考任务，验证其极端环境可靠性。

03｜独家 CeB6 灯丝：3000 小时寿命，5 年一换

• 高亮度六硼化铈（CeB6）灯丝

• 平均 5 年更换一次，7×24 小时连续运行无压力

• 维护成本极低，适合产线与长期实验使用

对比普通金属灯丝寿命多为 50–200 小时，性价比优势明显。

04｜卓越低电压成像：不喷金也清晰

Phenom XL G3 采用全新真空结构 + 升级背散射探测器 (BSD)：

• 低电压（2–5 kV）下信噪比更高

• 对非导电与敏感样品无需喷金

• 自动化流程中，成像效率提升 约 30%

适用样品： 纤维、纸张、涂层、聚合物、电子陶瓷、CMOS、太阳能电池等。

太阳能电池金字塔结构

 放大倍数：10,000X

 2kV，未喷金，二次电子像

 可以清晰看到金字塔结构和细节

电子陶瓷

 放大倍数：1,000X

 5kV，背散射电子像

 可以观测到陶瓷内晶粒大小和空隙 

CMOS 探测器

 放大倍数：5,000X

 2kV，二次电子像

 可以清晰看到像素单元及其表面污染物

扫描电镜下未喷金的纤维（上图），未喷金的纸张（下图）

05｜工业 4.0 自动化平台：支持 AI & Python 脚本

1 分钟从上样到出图

检测通量比传统电镜提升 5–10 倍。

自动化分析软件

• ParticleMetric：颗粒统计

• FiberMetric：纤维尺寸分析 

• 批量输出标准报告，实现真正量化质控

  

   

  从“看”到“算”：专业的自动化分析软件，ParticleMetric   (颗粒统计)、Fiber- Metric (纤维统计) 等专用软件。自动化完成需要人工数小时才能完成的颗粒 度、形貌、尺寸分布等统计工作，输出标准化报告，实现真正的量化品控。

  
  

开放编程接口（PPI）

• 支持 Python 脚本

• 可对接生产线、LIMS 系统

• 支持夜间无人值守批量检测

• 

  “深度集成，随需而变”：开放的自动化接口，提供 Python 脚本控制 (PPI)，可以无 缝集成到客户现有的自动化产线和 LIMS 系统中。精准的自动化马达台，结合软件 脚本，一次可容纳 36 个样品，打造“无人值守的质检工厂”，自定义设定程序，在夜 间或休息时间对大批量样品进行自动拍照和分析，最大化设备利用率。

大样品全景拼图（MAPS）

  一 张图看全貌，多点分析无遗漏

在晶圆、滤膜、金属断口等大样品上，自动获取全景高清图，并对预设的关键点位进行高倍率分析，确保检测无死角。

06｜能谱一体化设计：一套软件做成像 + 元素分析

无需切换软件，不丢数据，易培训，售后统一。

ChemiSEM 实时彩色成像

• 成像与能谱同步采集

• 行业领先的实时彩色元素分布显示

• 适用于金属、陶瓷、电池、涂层、半导体等材料

•    

  ChemiSEM 彩色成像技术

ChemiPhase 物相分析

• 自动识别物相

• 输出相组成及面积分数

• 对复杂材料（如电池正极、陶瓷、冶金）特别友好

  

    ChemiPhase 物相分析软件

Phase Mapping 相分布图

• 基于像素级定量元素分析

• 自动识别多个材料相

  

    Phenom MAPS 大面积图像拼接

规格参数

成像模式

• 光学显微镜：3–16×

• 电子显微镜：200,000×

照明系统

• CeB6 镜筒灯丝

• 加速电压：2/5/10/15/20 kV（可连续调节）

• 真空：低-中-高模式

性能

• 分辨率：优于 8 nm

• 抽真空时间：30 秒

载物台

• 大仓室，可支持大尺寸样品

• 最多容纳 36 份样品自动检测

适用行业

• 金属材料分析 / 冶金质检

• 电池与材料研发

• 电子陶瓷 / 半导体 / 元器件

• 粉末材料筛选

• 滤膜颗粒物、纤维统计

• 表面研究、涂层分析

• 高校与科研机构

为什么选择 Phenom XL G3？

• 国际知名品牌的技术传承（飞利浦 → FEI → 赛默飞）

• 真正的工业 4.0 级自动化台式电镜

• 支持 AI、Python、无人值守检测

• 全套能谱 + 成像一体化解决方案

• 大样品、大通量质控

• 平均5年换灯丝，使用成本极低

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