国仪量子DB550聚焦离子束电子束双束显微镜

DB550是一款优雅全能的纳米分析和制样工具，低电压高分辨的电子镜筒，保证纳米分析能力。“承影”离子镜筒提供了高稳定、高质量的离子束流，保证纳米加工能力。集成式的纳米机械手、气体注入器，一体化设计的控制软件，为您打造全能纳米分析和加工中心。

亮点

• 低压高分辨电子镜筒

• “承影”离子镜筒

• 丰富的扩展能力

• 集成式气体注入器

• 集成式纳米机械手

• 快速换样仓（最大8寸）

产品优势

• 高压隧道技术和无漏磁物镜的电子镜筒，高分辨率成像，兼容磁性样品

• “承影”离子镜筒，高稳定、高质量的离子束流，用于高质量纳米加工和TEM制样

• 样品仓内压电陶瓷驱动的机械手，集成式控制方式，操作精准到位

• 自主可控，扩展性强，集成化设计的离子源更换时间快，极致的售后服务

技术介绍

"承影"离子镜筒

技术特点

分辨率：3 nm@30 kV

探针电流：1 pA~65 nA

加速电压范围：500 V~30 kV

使用寿命：≥1000小时

长时间稳定性：72小时不间断工作

纳米机械手

技术特点

仓内安装方式

全压电驱动

编码精度≤10nm

最大移动速度2mm/s

集成式控制方式

离子束-电子束协同

气体注入器

单气体注入

多种气源可选

伸缩距离≥35 mm

重复定位精度≤10 um

加热温度控制精度≤0.1℃

加热温度范围：室温~90℃

集成式控制方式

应用案例

28nm Cu制程芯片 Top view

Al制程截面

PCB 截面大尺寸切割

SiC 掺杂

纳米机械手提取样品

三元材料截面

石墨颗粒截面

太阳能光伏银线截面

钛金周薄片中的增强相

陶瓷材料截面

铁素体马氏体钢(微磁)DB500 电子像

铁素体马氏体钢原子像(STEM-HAADF)

透射制样

原位加热EBSD样品制备

原位拉力样品制备

原位透射拉力样品制备

原位压力样品制备

质子交换膜截面

产品参数

国仪量子DB550聚焦离子束电子束双束显微镜信息由国仪量子技术（合肥）股份有限公司为您提供，如您想了解更多关于国仪量子DB550聚焦离子束电子束双束显微镜报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。