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用途:
表面清洗活化
表面蚀刻
Tetra 8 RIE 产品特点:
适用于8”以下样品的处理
等离子蚀刻机,可实现快速且一致的样品表面刻蚀
全局的工艺气体通过气浴进气实现了均匀的气体分布
电极水冷确保了样品的温度不会偏高
工业Windows控制系统,多段程序控制功能,实现一键蚀刻功能
适合于研究院、高校、研发中心等使用,也可小批量生产
Diener 等离子蚀刻机Tetra 8 RIE,Tetra 8 RIE
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