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•2D缺陷检验和计量•垫和调查分析•2D CD测量•高吞吐量、灵活设置•在线和离线分类•全自动化
•先进的缺陷检测和计量处理引擎•高分辨率三维共焦传感器
Eagle-i
zui先进的2D表面缺陷检验和计量系统,实现高容量生产前2 d检查解决方案和post-bumped晶片,探针标记检查,OQc等等。
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设计的速度和准确性,Camtek EagleT-i是一个zui快的和zui精确的2 d检查工具在市场上。
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