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离子蚀刻机 10-M / NS-5:适合小规模量产使用和实验室研究
基片尺寸
直径 6英寸 X 1片
样品台
直接冷却,单独冷却
离子源
10cm 考夫曼离子源
电源
可更换为国内电源
伯东离子蚀刻机主要优点:1. 干式制程的微细加工装置,使得在薄膜磁头,半导体元件, MR sensor 等领域的开发研究及量产得以广泛应用。2. 物理蚀刻的特性,无论使用什么材料都可以用来加工,所以各种领域都可以被广泛应用。3. 配置使用美国考夫曼公司原装制造的离子源。4. 射频角度可以任意调整,蚀刻可以根据需要做垂直,斜面等等加工形状。5. 基板直接加装在直接冷却装置上,所以可以在低温环境下蚀刻。6. 配置公转自转传输机构,使得被蚀刻物可以得到比较均匀平滑的表面。7. 机台设计使用自动化的操作流程,所以可以有非常友好的使用生产过程。离子蚀刻机 10-M / NS-5: 图片:
通不同气体的蚀刻速率
伯东离子蚀刻机 NS-5, NS-5
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