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微流控芯片加工:EVG 610单面/双面光刻机(布鲁克)

北京亚科晨旭科技有限公司

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EVG610是一款非常灵活的、适用于研发和小批量试产的对准系统,可处理zui大200mm之内的各种规格的晶片。

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