3d轮廓仪原理
中图仪器SuperViewW白光干涉3D光学轮廓仪以白光干涉技术为原理，可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。SuperVi......
中图仪器SuperViewW表面形貌3D光学轮廓仪用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。它以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）；SuperViewW表面形貌3D光学轮廓仪以白光干涉......
中图仪器SuperViewW系列光学3D形貌测量轮廓仪又叫白光干涉仪。它是以白光干涉技术为原理，以实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中，测量各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米......
SuperViewW3D光学轮廓仪测量系统基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。SuperViewW具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。产品功能1)样件测量能力：单一扫描模式......
中图3维形貌轮廓仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。SuperViewW具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。产品特点1、白光干涉仪......