光学轮廓仪
1、简介 由于受到触针针尖半径等的影响，触针式表面轮廓仪横向分辨率受到限制，对于峰峰值很小的表面，触针很难伸到谷底，测得的轮廓失真严重。而且由于接触测量，锋利的针尖会划伤测量表面，同时触针使用一段时间后会产生磨损，都会使测量结果不可靠。因此非接触测量成为表面测量的一个重要方向。 干涉显微镜自上世纪至今一直是非接触测量高等级表面粗糙度的主要......
NPFLEX三维计量系统为骨科医学植入物等大样本以及航空航天、汽车和精密机械加工行业中的较大部件提供了最灵活、最不接触、最三维的表面特征。它提供了数据密度、分辨率和重复性，超出了接触式仪器的可能，使其成为一种互补的技术或独立的计量解决方案。无与伦比的计量灵活性NPFLEX是专为调查广泛变化的样本大小和形状而设计的，而不损坏样品。不敏感的材料类型，该系统的WL......
chotest国产光学轮廓仪基于白光干涉技术，分辨率达0.1nm，以3D非接触方式测量分析划痕形貌，摩擦磨损深度、宽度和体积定量等，覆盖半导体、3C电子、光学加工、汽车零部件、MEMS器件等领域，兼容多种材质（透明、高反光、黑色等）。chotest国产光学轮廓仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高......
在微纳测量领域，精度就是生命线。SuperView W1系列白光干涉光学轮廓仪厂家，以白光干涉技术为核心，各项指标均达到行业水平。1.重复性：粗糙度RMS重复性可达 0.005nm（依据ISO 25178标准，测量Sa为0.2nm硅晶片）。2.台阶测量精度：准确度达 0.3%，重复性 0.08% (1σ)。3.超高分辨率：Z向扫描范围10mm，形貌重复性ST......
