邀请函 | 牛津仪器邀您参加化合物半导体先进技术及应用大会

2023-10-31 18:26:01, 牛津仪器牛津仪器科技（上海）有限公司

化合物半导体是我国重构全球半导体产业竞争格局的重要突破口！氮化镓、碳化硅、氧化镓、砷化镓等化合物半导体在新型显示、5G/6G 通信、新能源汽车电子、电动汽车充电桩、光伏/风电、激光雷达等战略新兴领域有着广泛而重要的应用前景。我国化合物半导体产业技术总体水平与国外的差距在缩小，在国家相关政策的大力支持下，我国的第三代半导体产业有望迎头赶上，实现“换道超车”。

把握机遇，聚芯向前。2023 年 11 月 1-2 日，化合物半导体先进技术及应用大会将于太仓·宝龙福朋喜来登酒店举办。牛津仪器等离子技术部与材料分析集团也受邀参与本次活动，并设立展位（展位号：13），众多技术专家期待与您交流。除此之外，等离子技术部门等离子部门主任工程师暨光电子产品线经理邓丽刚博士也将于11月2日上午9点25fe带来主题为：Plasma dry etching process review for fabricating optical devices的报告，以飨各位听众！

会议信息

会议时间：

11月1日-11月2日

会议地点：

苏州 · 太仓宝龙福朋喜来登酒店

(中国江苏省苏州太仓市上海东路288号)

参会方式：

点击阅读原文，注册参会

牛津仪器报告主题

Plasma dry etching process review for fabricating optical devices

以GaAs为主的VCSEL和InP为主的 Transceivers 光模块被广泛应用在光通信，光显示，光传感领域里。器件的设计和制造对获得一个高质量的器件尤为重要。人工智能（AI）的应用对这些光模块又提出了更高的要求 - 高速，低损耗，宽带。整个工艺的制造过程也面临新的挑战。这个演讲将主要针对包括VCSEL和InP EML 在内的III-V组材料的刻蚀工艺给出牛津仪器的一系列新的解决方案。

报告人介绍

邓丽刚博士

牛津仪器等离子技术部

部门主任工程师暨光电子产品线经理

2000年在英国Glasgow大学获得半导体物理方向的博士学位，主要研究等离子刻蚀对半导体器件的损伤。毕业之后，加入牛津仪器等离子技术部门成为工艺工程师， 2007年成为主任工程师。在牛津仪器近23年的时间里，邓丽刚博士主持研发了所有与制作各种光电子器件有关的III-V 半导体化合物材料的刻蚀工艺。目前她是公司负责面向三维传感和数据通信相关市场的产品经理。

相关解决方案介绍

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