2022-10-27 09:54:34 北京爱蛙科技有限公司
第十届(2022)中国半导体设备年会
时间:10月27日-29日
地点:无锡太湖国际博览中心
展位号:B3-117
光纤光谱仪因其快速、无损、原位测量的特点,在半导体行业广受青睐。作为世界上第一台微型光纤光谱仪的发明者,海洋光学多年来在半导体领域也积累了丰富的经验,其光学解决方案用于芯片制造的刻蚀终点监测、透明/半透膜膜厚检测、椭偏检测等。
光谱仪是一个核心器件,海洋光学就是光谱界的‘乐高’。我们把自己定义为科学仪器创新的奠基者,我们给客户一个包罗万象的工具箱,为客户提供做出创新仪器的全套工具模块,客户用这个工具箱可以在半导体等领域进行自己的开发,实现自己的创新理念。
蚀刻终点监测:等离子体检测系统
Ocean HDX采用高清晰度光学系统,具有高通量和高热稳定性的特点,支持多种通讯模式,如USB、千兆以太网、Wi-Fi、AP Wi-Fi和RS-232。内置板载缓存数据处理模块,提高数据分析速度,保证数据完整。
模块化光谱仪配置可用作QC工具或集成到生产线中
膜厚检测:晶圆膜厚测量系统
海洋光学膜厚测量系统,配置有采样平台、反射探头等,基于光波的干涉现象,光束照射在薄膜表面,由于入射介质、薄膜材料和基底材料具有不同的折射率值和消光系数值,使得光束在透明/半透明薄膜的上下表面发生反射,反射光波相互干涉,从而形成干涉光,这些干涉光在不同相位处的强度将随着薄膜的厚度发生变化。通过对干涉光的检测,结合适当的光学模型即可计算得到薄膜的厚度。
晶圆膜厚测量系统配置
QE Pro是一种高灵敏度性能出色的光谱仪,适合低光度应用。QE Pro薄型背照式CCD探测器具有较高的量子效率,其稳健的设计使其具有很高的信噪比性能和稳定性。可通过选择内部快门,优化对暗噪声的测量。
解决问题是海洋光学的使命。海洋光学创始人Mike Morris说,
“我们是问题解决者;
没有问题需要解决,就没有海洋光学。”
孙玲博士对此深有感触:
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