这个光学平台不一般，具有非常优秀的...

DVIA-MO系列主动隔振光学平台

特点

⊙具有非常优秀的隔振性能， 特别是在低频0.5Hz-10Hz达到90%以上的隔振效率；

⊙采用惯性传感器， 可以检测出六个自由度的振动并做补偿；

⊙采用真蜂窝三层夹心式结构台面， 厚度可选100/200/300mm；

⊙进口精密主动隔振光学平台；

⊙隔振性能优异,广泛应用于扫描探针显微镜,原子力显微镜， 扫面隧道显微镜， 激光干涉仪 ,半导体检测设备， 三维形貌分析仪和激光共聚焦显微镜等

说明：      DVIA-MO 系列高精密主动隔振光学平台是由台面和主动隔振支撑两部分组成，

台面采用真蜂窝三层夹心式结构， 上台面为热形变系数很小的 430系列高导磁镍合不锈钢， 台面按照 25mmX25mm 孔距均布 M6 螺纹孔，方便安装仪器， 每个螺纹孔下方具有独立的隔离杯， 方便清洁。 中间是真蜂窝支撑结构， 是把 0.25 毫米厚度的钢板加工成蜂巢的结构， 增加了台面结构的密度， 减小体积， 采用先进的粘合工艺， 坚固耐用。 台面的底部和侧板用碳钢作为主体材料， 具有非常优秀的动态和静态的刚性。

主动隔振支撑部分主要包括了被动隔振机构和主动隔振器 DVIA-M，每个支撑里面一般会有 4 个 DVIA-M 系列主动隔振器和一台主控箱。 主动隔振器包含了采集信号的传感器和消除振动的驱动器， 主要消除 0.5-10Hz 的外部振动 , 被动隔振系统部分同时承担着支撑负载和隔绝高频率振动的作用。

这个系列的平台可以在低频范围（0.5-10Hz）提供非常卓越隔振性能， 它可以应用于很多对振动要求非常高， 甚至具有挑战的领域， 比如高分辨率的光谱仪， 高分辨率电子显微镜和精密纳米科学研究和制备等。

DVIA-M系列主动隔振器参数表

技术指标：

⊙固有频率： 0.5-100Hz

⊙自动平衡， 相应时间短， 平衡速度快

⊙钢制真蜂窝结构,： 0.25mm厚箔

⊙蜂窝芯尺寸 ： 3.2cm2 (0.5 in²)

⊙表面平整度： ±0.1mm (±0.004 in.) /600 mm² (2 ft.)

⊙上台面 ： 4mm厚度430 系列高导磁镍合不锈钢

⊙  下地面 4.5厚碳钢， 表面氧化处理

⊙边墙板 2.0mm厚碳钢。 包裹高阻尼聚乙烯材料

⊙孔径： M6 (英制螺孔可选)

⊙孔距： 25mmX25mm(英制孔距可选)， 最外边孔距平台边缘

37.5mm

⊙螺孔密封： 每个螺纹孔下方设有柱形隔离杯密封， 方便清洁

⊙阻尼隔振方式： 宽带阻尼

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