客户案例 | 半导体全产业链Outgassing的检测方案

半导体芯片制造迈进先进制程，所有进入洁净室的材料释气情况将得到更进一步的重视，每一种污染成分带来的风险可能都是先进工艺成功与否的决定因素，这不仅是Fab厂，整个芯片制造产业链，从耗材、晶圆盒到化学品、光刻胶，甚至光刻机研发尤其是极紫外（EUV）都需要了解和解决的问题。

针对这一挑战，普罗风利用ATD-GC-MS提供半导体全产业链Outgassing检测方案，通过一则典型耗材检测案例视频，带您直观了解如何通过释气分析避免AMC污染风险。

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