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3D纳米结构高速直写机(Swisslitho)

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NanoFrazor—3D纳米加工新技术,IBM采用T-SPL技术,实现3D纳米结构快速直写,10nm精度(线宽和间距),实时形貌观察, 轻松完成二维纳米器件无标记套刻与加工,无电子损伤,性价比高,易维护易操作。

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