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四氟化硅传感器
参考价：面议
品牌：四方光电 产地：湖北武汉 型号：/ 样本：来电或留言获取样本
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参数
| 产地类别：国产 | 供应商性质：生产商 |
产品介绍
四氟化硅传感器四氟化硅传感器是由四方光电自主研发的高性能气体传感器，产品基于非分光红外技术(NDIR)，能够精确测量半导体等应用中产生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气体，兼容机台内常见预留尺寸、法兰和通讯协议，适合半导体行业化学沉积设备、原子层沉积设备腔室的清洁终点监测。
四氟化硅传感器四氟化硅传感器产品特性
使用NDIR技术，多气体监测支持(SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气体)
响应时间快，高灵敏度
无耗材
模拟/数字通信
模块化设计，便于集成
四氟化硅传感器技术参数
| 检测原理 | NDIR |
| 检测气体 | SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 |
| 量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
| 重复性 | ±0.5% |
| 线性 | ±1%F.S. |
| 检测限 | 1ppm |
四氟化硅传感器信息由四方光电股份有限公司为您提供，如您想了解更多关于四氟化硅传感器报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
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